[发明专利]偏航率传感器和用于运行偏航率传感器的方法

权利要求书

1.具有一衬底(13)和一第一科氏元件(3)的偏航率传感器(1)，其中，设有用于激励所述第一科氏元件(3)在第一方向(X)上振动(6)的激励装置(4)，其中，设有用于检测所述第一科氏元件(3)在与所述第一方向(X)基本上垂直的第三方向(Z)上的第一偏移的第一检测装置，其特征在于，所述第一科氏元件(3)构造为等臂梁。

2.根据权利要求1的偏航率传感器(1)，其特征在于，所述偏航率传感器具有一第二科氏元件(2)，其中，所述激励装置(4)设置用于激励所述第二科氏元件(2)在所述第一方向(X)上振动(6)，并且，还设有用于检测所述第二科氏元件(2)在与所述第一方向(X)及与所述第三方向(Z)都基本上垂直的第二方向(Y)上的第二偏移的第二检测装置(7)。

3.根据以上权利要求之一的偏航率传感器(1)，其特征在于，所述等臂梁的旋转轴(8)平行于所述衬底(13)的主延伸平面(100)延伸，其中，所述等臂梁关于所述旋转轴(8)优选具有非对称的质量分布并且特别优选所述旋转轴(8)基本上平行于所述第一方向(X)或所述第二方向(Y)延伸。

4.根据以上权利要求之一的偏航率传感器(1)，其特征在于，所述第一检测装置包括一个第一检测装置部件和另一个第一检测装置部件，其中，在所述第一检测装置部件与所述另一个第一检测装置部件之间优选设有所述旋转轴(8)或一个平行于所述旋转轴(8)且平行于所述第三方向(Z)延伸的平面。

5.根据以上权利要求之一的偏航率传感器(1)，其特征在于，所述第一科氏元件(3)借助第一弹簧(10)固定在框架(11)上，和/或，所述第二科氏元件(2)借助第二弹簧(9)固定在框架(11)上，并且，优选所述框架(11)借助第三弹簧(12)固定在所述衬底(13)上，特别优选所述激励装置(4)激励所述框架作所述振动(6)。

6.根据以上权利要求之一的偏航率传感器(1)，其特征在于，所述第二弹簧(9)和/或所述第三弹簧(12)包括U弹簧和优选曲折的U弹簧，和/或，所述第一弹簧(10)包括扭簧和优选具有开口结构或导体结构的扭簧，其中，优选所述第二弹簧(9)仅仅在所述第二方向(Y)上构造为柔性的，所述第三弹簧(12)仅仅在所述第一方向(X)上构造为柔性的和/或所述第一弹簧(10)仅仅在绕所述旋转轴(8)的扭转方面构造为柔性的。

7.根据以上权利要求之一的偏航率传感器(1)，其特征在于，所述第三检测装置(14)设置用于检测所述框架(11)的所述振动(6)，其中，所述第三检测装置(14)和/或所述激励装置(4)优选构造为梳形结构。

8.根据以上权利要求之一的偏航率传感器(1)，其特征在于，所述第二检测装置(7)构造为梳形结构，其优选与所述第二科氏元件(2)一起设置在一个与所述衬底(13)的主延伸平面(100)平行的平面中，和/或，所述第一检测装置在所述第三方向(Z)上与所述第一科氏元件(3)重叠地设置。

9.根据以上权利要求之一的偏航率传感器(1)，其特征在于，设有用于限制所述第一科氏元件(3)在所述第一、第二和/或第三方向(X，Y，Z)上的第一运动的第一止挡(15)，设有用于限制所述第二科氏元件(2)在所述第一、第二和/或第三方向(X，Y，Z)上的第二运动的第二止挡，和/或，设有用于限制所述框架(11)在所述第一、第二和/或第三方向(X，Y，Z)上的第三运动的第三止挡(16)。

10.根据以上权利要求之一的偏航率传感器(1)，其特征在于，为了使所述框架(11)在所述振动(6)方面平衡，设有所述框架的适配的质量分布、所述第三弹簧的适配的布置和/或所述偏航率传感器(1)关于与所述第一方向(X)平行的对称轴线(16)的镜像对称的构造。

11.用于运行根据以上权利要求之一的偏航率传感器(1)的方法，其特征在于，所述第一检测装置至少产生一个第一检测信号和另一个第一检测信号，其中，所述第一检测信号和所述另一个第一检测信号取决于所述偏航率传感器(1)绕与所述第二方向(Y)平行的第二轴的旋转运动。

12.根据权利要求10的方法，其特征在于，由所述第一检测装置部件产生所述第一检测信号，由所述另一个检测装置部件产生所述另一个检测信号。