[发明专利]图案间特征对应设备、其图案间特征对应方法及其程序

权利要求书

1.一种图案间特征对应设备，包括：

产生装置，用于将所输入的图案信号中彼此在位置上接近的N个特征点设置为邻近特征点组，将邻近特征点组和布置关系数值组设置为特征点组布置，并产生邻近特征点组、布置关系数值组和特征点组布置中的至少一个，所述布置关系数值组表示邻近特征点组的特征点之间的布置关系，N是大于等于2的整数，

检测装置，用于执行对第一图案的布置关系数值与由产生装置产生的第二图案的布置关系数值的比较，以检测彼此相对应的对应特征点组布置候选，

更新装置，用于对于对应特征点组布置候选，执行对与每个特征点组布置的特征点和在位置上接近特征点组布置的特征点有关的布置关系数值的比较，分别将彼此相对应的邻近特征点添加到对应特征点组布置候选，并更新对应特征点组布置候选，

用于检验由更新装置更新的对应特征点组布置候选的伴随对应特征点候选，以确定对应特征点组布置候选的伴随对应特征点的装置，以及

用于检验对应特征点组布置候选，以确定在图案之间彼此相对应的对应特征点的装置。

2.根据权利要求1所述的图案间特征对应设备，包括用于检测图案信号中的流线并设置与检测到的流线的方向相对应的流线坐标系的装置，通过将流线坐标系用作参考坐标系来得到特征点相关布置关系数值。

3.根据权利要求1所述的图案间特征对应设备，其中，特征点相关布置关系数值包括以下项目中的至少一项：

从一个特征点看在参考坐标系中另一特征点的距离；

从一个特征点看在参考坐标系中其他两个特征点的方位角的偏移；以及

从一个特征点看在参考坐标系中另一特征点的特征点方向的偏移。

4.根据权利要求1所述的图案间特征对应设备，其中，对于对应特征点组布置候选，针对以下项目来执行比较：每个特征点组布置的第一特征点与在位置上接近对应特征点组布置的第二邻近特征点之间的距离，以及从第一特征点看在第二邻近特征点与另一对应特征点组布置的第三特征点之间的方位角偏移；将彼此相对应的邻近特征点添加到对应特征点组布置候选；以及更新对应特征点组布置候选。

5.根据权利要求1所述的图案间特征对应设备，其中，对于对应特征点组布置候选，针对以下项目来执行比较：在每个特征点组布置的第一特征点与在位置上接近特征点组布置的第二邻近特征点之间的距离，以及第二邻近特征点至第一特征点的特征点方向的偏移；将彼此相对应的邻近特征点添加到对应特征点组布置候选；以及更新对应特征点组布置候选。

6.根据权利要求1所述的图案间特征对应设备，其中，对于不满足一对一特性的对应特征点候选，执行对更新装置所更新的对应特征点组布置候选的伴随对应特征点候选的检验。

7.根据权利要求1所述的图案间特征对应设备，其中，对更新装置所更新的对应特征点组布置候选的伴随对应特征点候选的检验基于对应特征点候选的邻近特征点的对应关系。

8.根据权利要求1所述的图案间特征对应设备，其中，对对应特征点组布置候选的检验基于对应特征点组布置候选的伴随对应特征点的数目。

9.一种图案间特征对应方法，包括：

第一步骤，在所述第一步骤中，将所输入的图案信号中彼此在位置上接近的N个特征点设置为邻近特征点组，将邻近特征点组和布置关系数值组设置为特征点组布置，并产生邻近特征点组、布置关系数值组和特征点组布置中的至少一个，所述布置关系数值组表示邻近特征点组的特征点之间的布置关系，N是大于等于2的整数，

第二步骤，在所述第二步骤中，执行对第一图案的布置关系数值与在第一步骤中产生的第二图案的布置关系数值的比较，以检测彼此相对应的对应特征点组布置候选，

第三步骤，在所述第三步骤中，对于对应特征点组布置候选，执行对与每个特征点组布置的特征点和在位置上接近特征点组布置的特征点有关的布置关系数值的比较，分别将彼此相对应的邻近特征点添加到对应特征点组布置候选，并更新对应特征点组布置候选，

第四步骤，在所述第四步骤中，检验在第三步骤中更新的对应特征点组布置候选的伴随对应特征点候选，以确定对应特征点组布置候选的伴随对应特征点，以及

第五步骤，在所述第五步骤中，检验对应特征点组布置候选，以确定在图案之间彼此相对应的对应特征点。