[发明专利]用于校准等离子体处理系统中的末端执行器对准的系统和方法

权利要求书

1.一种用于校准末端执行器相对于等离子体处理系统中的卡盘的对准的方法，所述方法包含：

将所述末端执行器定位在所述卡盘上方；

拍摄所述卡盘和所述末端执行器的静止图像；

处理所述静止图像以确定所述卡盘的中心和由所述末端

执行器限定的末端执行器限定中心；

确定所述末端执行器限定中心和所述卡盘的所述中心之间的位置差异；以及

向机械控制器提供所述位置差异以使所述机械控制器能够控制机械机构以在所述末端执行器传送晶圆时调整所述位置差异。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包含在所述末端执行器上提供第一可视指示符以使处理单元能够从所述静止图像确定所述末端执行器限定中心，所述第一可视指示符代表用于推出所述末端执行器限定中心的参考标记。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述第一可视指示符是刻痕线，所述刻痕线被配置为圆周的弧从而所述圆周的中心与所述末端执行器限定中心重合。

4.根据权利要求1所述的方法，进一步包含在所述卡盘上提供第一可视指示符以使处理单元能够从所述静止图像确定所述卡盘的所述中心，所述第一可视指示符用于确定由所述第一可视指示符描述的圆周，从而使所述卡盘的所述中心能够被确定。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述第一可视指示符是所述卡盘的外部边缘。

6.根据权利要求1所述的方法，进一步包含使用图像获取器件拍摄所述卡盘和所述末端执行器的静止图像从而使所述末端执行器和所述卡盘在生产条件下被校准。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述图像获取器件的至少一部分是在等离子体处理室内部实现的。

8.根据权利要求1所述的方法，进一步包含通过光学通路获得所述静止图像，该光学通路允许所述静止图像包括所述末端执行器的第一可视指示符的图像的至少一部分和所述卡盘的第一可视指示符的图像的至少一部分两者，所述末端执行器的所述第一可视指示符代表用于推出所述末端执行器限定中心的参考标记而所述卡盘的所述第一可视指示符用于确定由所述卡盘的所述第一可视指示符描述的该圆周。

9.一种用于校准末端执行器相对于等离子体处理系统中的卡盘的对准的末端执行器校准系统，所述系统包含：

图像获取器件，所述图像获取器件被配置为拍摄所述卡盘和所述末端执行器中至少一个的一个或多个静止图像；

用于执行至少如下处理的处理单元：

处理所述一个或多个静止图像以确定所述末端执行器限定中心和所述卡盘的所述中心；

确定所述末端执行器限定中心和所述卡盘的所述中心之间的位置差异；以及

机械控制器，所述机械控制器被配置为使用所述位置差异以使机械臂能够调整所述位置差异。

10.根据权利要求9所述的系统，其中所述末端执行器具有第一可视指示符，从而使所述处理单元能够从所述一个或多个静止图像确定所述末端执行器限定中心，所述第一可视指示符表示用于推出所述末端执行器限定中心的参考标记。

11.根据权利要求10所述的系统，其中所述第一可视指示符是刻痕线，所述刻痕线被配置为圆周的弧从而所述圆周的中心与所述末端执行器限定中心重合。

12.根据权利要求9所述的系统，其中所述卡盘具有第一可视指示符，从而使所述处理单元能够从所述一个或多个静止图像确定所述卡盘的所述中心，所述第一可视指示符号用于确定由所述第一可视指示符确定的该圆周，从而使所述卡盘的所述中心能够被确定。

13.根据权利要求12所述的系统，其中所述第一可视指示符是所述卡盘的至少一个的外部边缘。

14.根据权利要求9所述的系统，其中所述图像获取器件的至少一部分是在等离子体处理室内部实现的。

15.根据权利要求9所述的系统，其中所述一个或多个静止图像是通过光学通路获得的，该光学通路允许所述一个或多个静止图像包括所述末端执行器的第一可视指示符的图像的至少一部分和所述卡盘的第一可视指示符的图像的至少一部分两者；所述末端执行器的所述第一可视指示符代表用于推出所述末端执行器限定中心的参考标记而所述卡盘的所述第一可视指示符用于确定由所述卡盘的所述第一可视指示符描述的圆周。