[发明专利]用于等离子体室的电极的非对称性射频驱动装置

权利要求书

1.一种耦合RF功率至等离子体室的装置，该装置包含：

等离子体室，其具有工件通道；

电极，其设置成将来自该电极的电功率耦合到该离子体室内的等离子体，其中该电极的第一半部比该电极的第二半部更靠近该工件通道；以及

一个或多个RF电源，其连接以供应RF功率到该电极；

其中该一个或多个RF电源一起供应第一时间平均值的RF功率给该电极的第一半部，以及供应第二时间平均值的RF功率给该电极的第二半部；

其中该第二时间平均值的RF功率大于或等于零；并且

其中该第一时间平均值的RF功率大于该第二时间平均值的RF功率。

2.如权利要求1所述的装置，还包含：

多个电容器；

其中：

该电极还包括在该电极的第一半部上的一个或多个RF驱动点与在该电极的第二半部上的一个或多个RF驱动点；

这些电容器中至少一个电容器连接在该一个或多个RF电源之一与该电极的第一半部上的这些RF驱动点的一个或多个之间；

这些电容器中至少一个电容器连接在该一个或多个RF电源之一与该电极的第二半部上的这些RF驱动点的一个或多个之间；以及

与该电极的第一半部上的RF驱动点连接的这些电容器的电容值总和小于与该电极的第二半部上的RF驱动点连接的这些电容器的电容值总和。

3.如权利要求2所述的装置，其中：

这些电容器中的两个或多个电容器为随时间变化；以及

当这些随时间变化的电容器中的至少第一电容器的电容值增加时，这些随时间变化电容器中的至少第二电容器的电容值降低，使得这些随时间变化的电容器的整体电容值维持固定。

4.如权利要求2所述的装置，其中：

这些电容器的每一个共同连接在一输入，这些电容器的每一个在该输入处接收该RF功率；

这些电容器中的两个或多个会随时间变化；以及

当这些随时间变化的电容器中的至少第一电容器的电容值增加时，这些随时间变化的电容器中的至少第二电容器的电容值降低，使得该输入与该电极之间的整体电容值维持固定。

5.如权利要求1所述的装置，还包含：

功率分配器，其具有一输入与多个输出；

其中：

该电极还包括在该电极的第一半部上的一个或多个RF驱动点与在该电极的第二半部上的零个或多个RF驱动点；

该功率分配器的输入被连接以从该一个或多个RF电源之一接收RF功率；

该功率分配器的每个输出被连接以供应RF功率到这些RF驱动点中的一个或多个；以及

该功率分配器供应到该电极的第一半部上的这些RF驱动点的RF功率值大于供应到该电极的第二半部上的这些零个或多个RF驱动点的RF功率值。

6.如权利要求5所述的装置，其中：

该功率分配器包含一个或多个衰减器，使得每个衰减器连接在该功率分配器的输入与该功率分配器的这些输出的之一之间。

7.如权利要求6所述的装置，其中：

这些衰减器中的多个衰减器具有随时间变化的电抗，使得这些衰减器中的至少第二衰减器的电抗降低时，这些衰减器中的至少第一衰减器的电抗增加，因而连接在该功率分配器的输入与该电极之间的这些衰减器的整体电抗维持固定。

8.如权利要求1所述的装置，还包含：

一个或多个衰减器；

其中每个衰减器连接在所述一个或多个RF电源之一与该电极上的一个或多个RF驱动点之间。

9.如权利要求1所述的装置，其中该电极包含：

后壁，其具有一个或多个RF驱动点；

喷头；以及

悬架，其连接在该喷头与该后壁之间；

其中所述一个或多个RF电源被连接以供应RF功率到该后壁上的这些RF驱动点。