[发明专利]用于具有移动聚焦透镜的激光加工工具的模块化加工头的可替换模块、具有这种可替换模块的模块化加工头、激光加工工具

权利要求书

1.一种用于激光加工工具(1)的模块化加工头(10)的可替换模块(20)，所述激光加工工具(1)用于借助于激光束(5)加工工件(2)，所述可替换模块(20)包括：用于所述激光束(5)的聚焦透镜(25)、驱动装置(40)的至少一个从动部分(41.1、42.1、26)、和用于所述聚焦透镜(25)和所述驱动装置(40)的相应从动部分(41.1、42.1、26)的承载结构(30)，其中，所述聚焦透镜(25)和所述驱动装置(40)的相应从动部分(41.1、42.1、26)设置在所述承载结构(30)上，以使得所述聚焦透镜(25)能借助于所述驱动装置(40)相对于所述承载结构(30)移动，

其特征在于，

所述驱动装置(40)被构造为流体驱动部，并且所述相应从动部分(41.1、42.1、26)的至少一个能借助于加压流体被驱动。

2.根据权利要求1所述的模块化加工头，其中所述可替换模块(20)包括所述驱动装置。

3.根据权利要求2所述的模块化加工头，其中所述可替换模块的所述承载结构(30)被构造为空心部分，并且所述驱动单元的从动部分被构造为活塞单元(41.1、42.1、26)，所述活塞单元设置在所述空心部分的腔中，并且所述活塞单元沿所述腔的腔壁(45)被引导。

4.根据权利要求3所述的模块化加工头，其中能使所述活塞单元(41.1、42.1、26)相对于所述激光束(5)的传播方向(5.1)同轴移动。

5.根据权利要求3或4所述的模块化加工头，其中所述活塞单元(41.1、42.1、26)包括用于所述激光束(5)的通道管(29)，并且所述聚焦透镜(25)设置在所述通道管中并且附接到所述活塞单元。

6.根据权利要求3到5中的任一项所述的模块化加工头，其中所述驱动单元(40)包括第一压力室(41)和第二压力室(42)，并且，所述活塞单元(41.1、42.1、26)包括第一活塞表面(41.1)和第二活塞表面(42.1)，其中所述第一压力室(41)由所述腔壁(45)的第一壁部分(45.1)和所述第一活塞表面(41.1)限定，且所述第二压力室(42)由所述腔壁(45)的第二壁部分(45.2)和所述第二活塞表面(41.2)限定，并且其中相应压力室(41、42)被构造成使得：所述第一压力室的容积和所述第二压力室的容积响应于所述活塞单元沿所述腔壁(45)的移动沿相反方向分别增加或减小。

7.根据权利要求6所述的模块化加工头，其中所述第一压力室(41)能充满第一流体(80.1)，并且所述第二压力室(42)能充满第二流体(80.2)。

8.根据权利要求6或7中的任一项所述的模块化加工头，其中所述第一压力室(41)和/或所述第二压力室(42)被构造成相对于所述激光束(5)的传播方向(5.1)同心。

9.根据权利要求6到8中的任一项所述的模块化加工头，其中所述第一活塞表面(41.1)和/或所述第二活塞表面(42.1)包括相对于所述激光束(5)的传播方向(5.1)同心的环的形状。

10.根据权利要求3到9中的任一项所述的模块化加工头，其中所述活塞单元(41.1、42.1、26)在与所述腔壁(45)的第三壁部分(45.3)相对定位的一侧上包括第一壁区域(61)，所述第一壁区域与所述腔壁(45)的所述第三壁部分(45.3)一起限定能充满工艺气体的工艺气体室(60)，其中所述工艺气体室通过用于所述工艺气体的至少一个出口开口(63)连接到空间(65)，所述空间(65)在所述激光束的出射侧上邻接所述聚焦透镜(25)，并且工艺气体流(64)能从所述工艺气体室(60)通过用于所述工艺气体的所述出口开口(63)被引入所述空间(65)中。

11.根据权利要求10所述的模块化加工头，其中所述活塞单元的所述第一壁区域(61)包括活塞表面(61.1)，所述工艺气体能施加到所述活塞表面，并且所述活塞表面被设置成使得：能够借助于在所述激光束的出射侧处的所述工艺气体流传递到所述聚焦透镜(25)上的力能通过能借助于所述工艺气体传递到所述活塞表面(61.1)上的力完全或部分补偿。