[发明专利]借助高频激励来产生等离子的方法和发生器电路

权利要求书

1.一种借助高频激励来产生等离子的方法，其特征在于，为了提供保持等离子的电压，把具有确定的工作频率的高频电压与至少另一高频电压锁相叠加，其中所述另一高频电压分别具有该工作频率的相应倍频以及可调的幅度和相位。

2.一种用于实现根据权利要求1所述方法的、借助高频激励来产生等离子的发生器电路，其特征在于，为了提供保持等离子的电压，设有至少两个高频功率发生器(1-4)，其中一个高频功率发生器(1)在确定的工作频率(f)下工作，另一个或其它的高频功率发生器(2-4)在该工作频率的倍频(f)下工作，所有的高频功率发生器(1-4)相互锁相耦合，每个高频功率发生器(1-4)的相对相位以及相应幅度都能借助一个自己的匹配电路(5-8)来单独调节。

3.根据权利要求2所述的发生器电路，其特征在于，该高频功率发生器(1-4)通过一个多路复用器(9)与真空室(11)的电极(10)相连接。

4.一种用于实现根据权利要求1所述方法的、借助高频激励来产生等离子的发生器电路，其特征在于，为了提供保持等离子的电压，设置在确定的工作频率(f)下工作的振荡器和至少另一个接在该振荡器后面的倍频器，该倍频器产生该工作频率(f)的谐波。

5.根据权利要求4所述的发生器电路，其特征在于，每个倍频器后接有一个移相器。

6.根据权利要求5或6所述的发生器电路，其特征在于，该倍频器的输出电压被传输至宽带放大器。

7.根据权利要求5或6所述的发生器电路，其特征在于，每个倍频器后接有一个放大器。