[发明专利]薄膜形成装置

权利要求书

1.一种薄膜形成装置，其特征在于，由多个喷射头、涂布溶液收纳容器、基板搬运台、系统控制装置和减压室构成，其中，所述这些喷射头将材料溶液从以一定间隔形成的多个喷嘴喷出并涂布于基板，所述涂布溶液收纳容器利用喷嘴面与液面的水位差对所述喷射头供给材料溶液，所述基板搬运台承载所述基板并使其水平移动，所述系统控制装置具有对所述喷射头的喷出进行控制的喷射头控制器和一边使所述基板搬运台移动一边对位置进行检测从而进行反馈控制的工作台控制器，所述减压室包括收容所述喷射头、涂布溶液收纳容器和基板搬运台的减压单元，所述薄膜形成装置将直接连接于所述喷射头的所述涂布溶液收纳容器设置在相同的减压环境下。

2.如权利要求1所述的薄膜形成装置，其特征在于，减压室内的压力在从大气压(101.3kPa)到水的饱和蒸汽压3.1kPa的范围。

3.如权利要求1或2所述的薄膜形成装置，其特征在于，设有水位差调整机构，该水位差调整机构通过检测涂布溶液收纳容器的液面高度、并使所述涂布溶液收纳容器升降，从而使喷射头的喷嘴面与涂布溶液收纳容器的液面的水位差维持恒定。

4.如权利要求1至3中任一项所述的薄膜形成装置，其特征在于，涂布溶液收纳容器设置在比喷射头高的位置，所述薄膜形成装置设有微压差调整机构，该微压差调整机构利用电空调节器在喷射头与涂布溶液收纳容器之间产生负的微压差。