[发明专利]在加速/减速系统中降低电应力的技术有效

专利信息
申请号: 200880125435.1 申请日: 2008-12-10
公开(公告)号: CN102217043A 公开(公告)日: 2011-10-12
发明(设计)人: 卡森·泰克雷特萨迪克;罗素·J·洛 申请(专利权)人: 瓦里安半导体设备公司
主分类号: H01L21/3065 分类号: H01L21/3065;H01L21/265
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 臧建明
地址: 美国麻*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 加速 减速 系统 降低 应力 技术
【权利要求书】:

1.一种加速/减速系统,包括:

加速柱,包括多个电极,具有带电荷粒子束可穿过的孔洞;

多个电压分级元件,分别电性耦接至所述多个电极;以及

多个绝缘导体,配置于邻近所述多个电压分级元件,以降低所述多个电压分级元件周围的电场。

2.根据权利要求1所述的加速/减速系统,其中,所述多个电压分级元件包括多个电阻器和多个开关中的至少一个。

3.根据权利要求2所述的加速/减速系统,其中,所述多个电阻器包括一串的电阻器。

4.根据权利要求1所述的加速/减速系统,还包括杆,耦接至所述多个电压分级元件与所述多个绝缘导体。

5.根据权利要求1所述的加速/减速系统,还包括多个致动器。

6.根据权利要求5所述的加速/减速系统,其中,每一个所述开关分别连接至所述多个致动器中的一个。

7.根据权利要求2所述的加速/减速系统,其中,至少一个所述开关由加压的流体启动,且所述加压的流体包括加压的空气、加压的气体与加压的液体中的至少一个。

8.根据权利要求1所述的加速/减速系统,还包括多个火花间隙电极,经装配以在预定的电压下电性崩溃。

9.根据权利要求8所述的加速/减速系统,其中,所述多个火花间隙电极配置于所述多个电压分级元件与所述多个绝缘导体之间。

10.根据权利要求9所述的加速/减速系统,其中,所述多个火花间隙电极与所述多个绝缘导体配置于邻近所述多个致动器。

11.根据权利要求2所述的加速/减速系统,其中,所述多个电阻器埋置于高介电强度材料中,所述高介电强度材料包括导热环氧树脂与硅氧烷类化合物中的至少一个。

12.一种加速/减速系统,包括:

加速柱,包括多个电极,具有带电荷粒子束可穿过的孔洞;

多个电压分级元件,分别电性耦接至所述多个电极;

多个火花间隙电极,配置于邻近所述多个电压分级元件,以在预定的电压位准下电性崩溃;以及

多个绝缘导体,配置于邻近所述多个电压分级元件,以降低所述多个电压分级元件周围的电场。

13.根据权利要求12所述的加速/减速系统,其中,所述多个电压分级元件包括多个电阻器与多个开关中的至少一个。

14.根据权利要求13所述的加速/减速系统,其中,所述多个电阻器包括一串的电阻器。

15.根据权利要求12所述的加速/减速系统,其中,所述多个火花间隙电极的形状经装配为椭圆形与球形中的至少一个。

16.根据权利要求13所述的加速/减速系统,其中,还包括多个致动器。

17.根据权利要求16所述的加速/减速系统,其中,每一个所述开关分别连接至所述多个致动器中的一个。

18.根据权利要求17所述的加速/减速系统,其中,所述多个火花间隙电极与所述多个绝缘导体中的至少一个配置于邻近每一个所述开关与个别的所述多个致动器中的一个之间的连接。

19.根据权利要求13所述的加速/减速系统,其中,至少一个所述开关由加压的流体启动,且所述加压的流体包括加压的空气、加压的气体与加压的液体中的至少一个。

20.根据权利要求12所述的加速/减速系统,其中,所述多个绝缘导体放射状地配置,且较所述多个火花间隙电极远离所述多个电压分级元件。

21.根据权利要求13所述的加速/减速系统,其中,所述多个电阻器埋置于高介电强度材料中,所述高介电强度材料包括导热环氧树脂与硅氧烷类化合物中的至少一个。

22.根据权利要求12所述的加速/减速系统,其中,所述多个火花间隙电极电性崩溃的所述预定的电压位准至少以位于所述多个绝缘导体中的导体的尺寸、杆的长度与所述多个火花间隙电极的几何结构中的一个为基准。

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