[发明专利]堆积装置和堆积方法

权利要求书

1.一种堆积装置，其特征在于，具备：

催化反应装置，含有：导入第1原料气体的导入部，和收容从所述导入部所导入的所述第1原料气体生成反应性气体的催化剂的、催化剂容器，和从所述催化剂容器喷出所述反应性气体的反应性气体喷出部；

反应性气体分离器，容许从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体的流通；

支持基板的基板支持部；以及

供给第2原料气体的供给部，所述第2原料气体与穿过所述反应性气体分离器的所述反应性气体反应，使膜堆积于所述基板。

2.根据权利要求1所述的堆积装置，其中，所述催化反应装置配置于可以减压排气的反应室内，所述第2原料气体为有机金属化合物的气体，所述反应性气体分离器在侧面具有空隙。

3.根据权利要求1所述的堆积装置，其中，所述反应性气体分离器含有具有贯通孔的多个板状部件，该多个板状部件中的至少2个邻接的板状部件以在该邻接的板状部件之间形成空隙的方式被配置。

4.根据权利要求1所述的堆积装置，其中，所述反应性气体分离器具备相对于所述反应性气体喷出部隔开空隙而配置的漏斗状的盖子，该盖子沿着从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体的喷出方向扩径，在顶部含有开口。

5.根据权利要求1所述的堆积装置，其中，供给所述第2原料气体的所述供给部的前端部被配置于所述反应性气体分离器。

6.根据权利要求1所述的堆积装置，其中，进一步具备在反应性气体分离器和所述基板支持部之间配置的开闭阀。

7.根据权利要求1所述的堆积装置，其中，所述原料气体导入部连接于收纳选自H₂气和O₂气的混合气体、H₂O₂气、肼、和氮化物中的原料气体的原料气体供给部。

8.根据权利要求1所述的堆积装置，其中，所述催化剂容器被所述反应性气体喷出部封闭。

9.根据权利要求1所述的堆积装置，其中，所述催化剂容器被具有连通孔的分隔器分割为多个区域，该区域各自配置有催化剂容器。

10.根据权利要求1所述的堆积装置，其中，所述催化剂含有：具有0.05mm～2.0mm范围的平均粒径的载体，和担载于该载体上的、具有1nm～10nm范围的平均粒径的催化剂成分。

11.根据权利要求10所述的堆积装置，其中，所述载体是将多孔γ-氧化铝结晶相在500℃～1200℃下加热处理，原样维持其表面结构地变换为α-氧化铝结晶相而成的。

12.一种堆积装置，其特征在于，具备：

催化反应装置，含有：导入第1原料气体的导入部，和收容从所述导入部所导入的所述第1原料气体生成反应性气体的催化剂的、催化剂容器，和从所述催化剂容器喷出所述反应性气体的反应性气体喷出部，所述反应性气体喷出部含有：内径沿着所述反应性气体的喷出方向变小的缩径部、和内径沿着所述喷出方向变大的扩径部；

支持基板的基板支持部；以及

供给第2原料气体的供给部，所述第2原料气体与从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体反应，使膜堆积于所述基板；

13.根据权利要求12所述的堆积装置，其中，所述催化反应装置被配置于可以减压排气的反应室内，所述第2原料气体为有机金属化合物的气体。

14.根据权利要求12所述的堆积装置，其中，进一步具备反应性气体分离器，所述反应性气体分离器含有相对于所述反应性气体喷出部隔开空隙而配置的漏斗状的盖子，所述盖子沿着从所述反应性气体喷出部喷出的所述反应性气体的喷出方向扩径，在顶部含有开口。

15.根据权利要求12所述的堆积装置，其中，供给所述第2原料气体的所述供给部的前端部临近所述反应性气体喷出部的所述扩径部地被配置。

16.根据权利要求14所述的堆积装置，其中，供给所述第2原料气体的所述供给部的前端部被配置于所述反应性气体分离器。

17.根据权利要求12所述的堆积装置，其中，进一步具备在反应性气体分离器和所述基板支持部之间配置的开闭阀。