[发明专利]具有倾斜边缘的特征的成像图案

权利要求书

1.一种用于利用由成像头发射的辐射束在沿着扫描方向在介质上扫描的同时在所述介质上形成特征的图案的图像的方法，其中图案中的特征沿第一方向和与第一方向相交的第二方向规则地布置，并且所述图案包括具有沿着相对于扫描方向倾斜一定倾斜角度的方向延伸的第一边缘部分的特征，该方法包括：

确定特征沿着第一方向的间距；

至少基于特征沿着第一方向的间距确定要形成在介质上的第一像素的第一大小，其中第一大小沿着与扫描方向相交的方向；

确定特征沿着第二方向的间距；

至少基于特征沿着第二方向的间距确定要在介质上形成的第二像素的第二大小；其中第二大小沿着扫描方向；

确定要在介质上形成的像素的第二扫描线与要在介质上形成的像素的第一扫描线之间沿着扫描方向的偏移，该偏移至少基于所述倾斜角度和第一大小而确定；

在沿着扫描方向扫描时控制成像头发射辐射束以在介质上形成图像；

在介质上扫描时控制成像头以形成包括确定的第一大小的第一像素和包括确定的第二大小的第二像素；以及

在介质上扫描时控制成像头以形成像素的第一扫描线和像素的第二扫描线，其中像素的第二扫描线从像素的第一扫描线偏移所确定的偏移。

2.权利要求1的方法，其中特征沿着第一方向的间距等于第一大小的整数倍。

3.权利要求2的方法，其中特征沿着第二方向的间距等于第二大小的整数倍。

4.权利要求1的方法，其中像素的第一扫描线包括第一像素并且像素的第二扫描线包括第二像素。

5.权利要求1的方法，其中像素的第一扫描线和像素的第二扫描线中的每一个包括相同大小的像素。

6.权利要求1的方法，其中像素的第一扫描线从像素的第二扫描线沿着扫描方向偏移的量小于第二大小。

7.权利要求1的方法，其中像素的第一扫描线从像素的第二扫描线沿着扫描方向偏移的量大于第二大小。

8.权利要求1的方法，包括至少基于以下关系来确定沿着扫描方向的偏移：

Offset＝(T*X)/Tan(θ)，其中：

Offset是沿着扫描方向的偏移；

X是第一大小；

T是大于或等于1的整数；并且

θ是对应于所述倾斜角度的角度。

9.权利要求1的方法，其中所述特征包括沿着与第一边缘部分延伸的方向平行的方向延伸的第二边缘部分。

10.权利要求9的方法，其中第二边缘部分和第一边缘部分彼此偏移。

11.权利要求9的方法，其中第二边缘部分和第一边缘部分沿着扫描方向彼此偏移。

12.权利要求1的方法，其中图案中的每个特征包括沿着与第一边缘部分延伸的方向平行的方向延伸的边缘部分，并且其中每个边缘部分沿着扫描方向被规则地布置。

13.权利要求1的方法，其中图案中的每个特征包括一组边缘部分，其中每个组中的每个边缘部分沿着与第一边缘部分延伸的方向平行的方向延伸，并且每个组中的每个边缘部分沿着扫描方向从该组中的其他边缘部分偏移。

14.权利要求1的方法，其中特征沿着第一方向以及沿着第二方向重复。

15.权利要求1的方法，其中特征包括v形形状。

16.权利要求1的方法，其中特征包括具有沿着与扫描方向平行的方向延伸的对称轴线的形状。

17.权利要求16的方法，其中特征包括V形形状。

18.权利要求1的方法，其中第二方向平行于扫描方向。

19.权利要求1的方法，包括通过延迟对成像头的成像通道的激活来将第二扫描线从第一扫描线偏移所确定的偏移。

20.权利要求1的方法，包括控制发射辐射束的持续时间以在介质上形成沿着扫描方向具有等于第二大小的大小的像素。

21.权利要求1的方法，包括控制成像头发射辐射束以在介质上形成辐射斑，所述方法包括控制辐射斑在介质上扫描的持续时间以在介质上形成沿着扫描方向具有等于第二大小的大小的像素。