[发明专利]具有电子倍增器冷发射源的离子计

权利要求书

1.一种离子计，其包含：

电子产生器阵列，其包括微通道板，所述微通道板包括：

所述微通道板的电子产生部分，其包含用于产生种子电子的源；以及

所述微通道板的电子倍增器部分，其回应于由所述电子产生部分产生的所述种子电子而倍增所述电子；

离子化容积，在其中所述电子撞击气态物质；以及

收集电极，其收集由所述电子与所述气态物质之间的所述撞击形成的离子。

2.根据权利要求1所述的离子计，其中所述离子化容积是由将所述电子保持于其中的阳极界定，且其中所述产生电子的源位于所述阳极外部，且其中所述阳极围绕所述收集电极。

3.根据权利要求2所述的离子计，其进一步包含用以收集在所述阳极外形成的离子的第二收集电极。

4.根据权利要求1所述的离子计，其中由所述收集电极收集到的电流形成压力传号。

5.根据权利要求4所述的离子计，其中所述离子化容积是由板状阳极与板状收集电极之间的容积来界定，且其中所述源位于所述板状阳极与所述板状收集电极之间。

6.根据权利要求1所述的离子计，其中所述微通道板包括输入面和输出面，且其中电压施加于所述输入面与所述输出面之间。

7.根据权利要求6所述的离子计，其中所述微通道板经处理以引致种子电子的自发发射。

8.根据权利要求7所述的离子计，其中电子发射材料处在所述微通道板的所述电子倍增器部分的所述输入面上，且其中辐射产生种子电子。

9.根据权利要求1所述的离子计，其进一步包含调整器，所述调整器基于所述离子化容积中电子的数目来控制来自所述电子产生器阵列的电子束电流。

10.根据权利要求9所述的离子计，其进一步包含电流计，所述电流计连接到阳极以用于控制所述电子束电流。

11.一种离子计，其包含：

阳极结构，其包含界定离子化容积的圆柱形线栅，在所述离子化容积中电子撞击气态物质；

产生电子的源，其包括电子种子装置和电子倍增器装置，所述电子倍增器装置倍增来自所述电子种子装置的电子；以及

收集电极，其收集通过所述电子与所述气态物质之间的所述撞击形成的离子，所述收集电极和所述源中的一者位于所述阳极结构内部，且所述收集电极和所述源中的另一者位于所述阳极结构外部。

12.根据权利要求11所述的离子计，其中所述圆柱形线栅配置为耦合到至少一支撑柱的多个线圈。

13.根据权利要求11所述的离子计，其中所述产生电子的源位于所述阳极结构外部，且所述收集电极位于所述阳极结构内部。

14.根据权利要求13所述的离子计，其进一步包括位于所述阳极结构外部的第二收集电极。

15.根据权利要求11所述的离子计，其中所述产生电子的源位于所述阳极结构内部，且所述收集电极位于所述阳极结构外部。

16.根据权利要求11所述的离子计，其中由所述收集电极收集到的电流形成压力信号。

17.根据权利要求11所述的离子计，其中所述倍增电子的电子倍增器装置包括微通道板。

18.一种离子计，其包含：

阳极结构，其包含界定离子化容积的圆柱形线栅，在所述离子化容积中电子撞击气态物质；

电子产生器阵列，其包括微通道板，所述微通道板包括：

所述微通道板的电子产生部分，其包含用于产生种子电子的源；以及

所述微通道板的电子倍增器部分，其回应于由所述电子产生部分产生的所述种子电子而倍增所述电子；以及

收集电极，其位于所述阳极结构内部，收集通过所述电子与所述气态物质之间的所述撞击形成的离子。

19.根据权利要求18所述的离子计，其中所述圆柱形线栅配置为耦合到至少一支撑柱的多个线圈。

20.根据权利要求18所述的离子计，其中所述产生电子的源位于所述阳极结构外部，且所述收集电极位于所述阳极结构内部。

21.根据权利要求20所述的离子计，其进一步包括位于所述阳极结构外部的第二收集电极。