[发明专利]用于监视RF功率的特性的系统、方法和装置

权利要求书

1.一种用于监视施加到等离子体负载的RF功率的电特性的方法，包括：

检测由RF发生器产生的RF功率的电特性，以获得RF信号，所述RF信号包括指示了落在频率范围内的多个特定频率处的电特性的信息；

数字地采样所述RF信号以获得数字RF信号流，所述数字RF信号包括指示了在所述多个特定频率处的电特性的所述信息；以及

针对所述多个特定频率中的每一个，将指示了电特性的所述信息从时域连续地变换到频域。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，连续地变换包括：仅变换指示了在所述特定频率处的电特性的所述信息，以便在所述特定频率之间留下未变换的频带。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，采样包括：使用从由电压-电流传感器和定向耦合器组成的组中选择的传感器来进行采样。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，指示了电特性的所述信息包括正向和反向电压信息。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，连续地变换包括：

在所述特定频率中的每一个频率处，数字地合成正弦函数；以及

针对所述特定频率中的每一个，对所述正弦函数和指示了电特性的所述信息的采样值的乘积进行滤波，以便针对所述多个特定频率中的每一个，获得指示了电特性的所述信息的变换。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，连续地变换包括：

针对所述特定频率中的每一个，从正弦函数表检索预创建的正弦函数；并且

针对所述特定频率中的每一个，对所述正弦函数和指示了电特性的所述信息的采样值的乘积进行滤波，以便针对所述多个特定频率中的每一个，获得指示了电特性的所述信息的变换。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，数字化所述RF信号包括：数字化所述RF信号，从而以64Mb的速率获得14比特的数字RF信号流。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，连续地变换包括：对连续的数字RF信号流进行变换。

9.根据权利要求1所述的方法，包括：

选择所述特定频率；

将所选择的频率置于表格中；以及

访问所述表格以便识别要被连续变换的所述频率。

10.一种用于监视施加到等离子体负载的RF功率的装置，包括：

模数转换器，其被配置用于数字化RF信号，所述RF信号包括指示了由RF发生器产生的电特性的信息，以提供包括指示了电特性的所述信息的数字RF信号流；以及

变换部分，其被配置用于在多个特定频率的每一个频率处，将指示了电特性的所述信息从时域连续地变换到频域。

11.根据权利要求9所述的装置，其中，所述变换部分被配置用于仅变换指示了在所述特定频率处的电特性的所述信息。

12.根据权利要求9所述的装置，其中，所述变换部分被配置用于执行快速傅立叶变换。

13.根据权利要求9所述的装置，其中，所述模数转换器提供基本上连续的数字RF信号流，以便使得所述变换部分能够基本上实时地变换指示了电特性的所述信息。

14.根据权利要求9所述的装置，其中，所述变换部分包括：

直接数字合成器，其被配置用于在所述特定频率的第一频率处合成正弦函数；

数字乘法器，用于产生所述正弦函数与指示了电特性的所述信息的多个采样值中的每一个的乘积，以便产生第一多个乘积；以及

滤波器部分，其被配置用于对所述第一多个乘积求和，以便提供第一乘积之和，其中，所述第一乘积之和的标准化的值提供了在所述特定频率中的所述第一频率处的参数的值。

15.根据权利要求14所述的装置，其中，在所述直接数字合成器在所述特定频率中的所述第一频率处产生正弦函数后，所述直接数字合成器被配置用于在所述特定频率的第二频率处合成正弦函数，所述乘法器产生所述第二频率与指示了电特性的所述信息的多个额外的采样的值中的每一个的乘积，以便产生第二多个乘积，并且累加器对所述第二多个乘积求和，以便提供第二乘积之和，其中，所述第二乘积之和的标准化值提供了在所述特定频率的所述第二频率处的参数的值。

16.根据权利要求14的装置，其中，使用现场可编程门阵列来实现所述直接数字合成器。