[发明专利]具有经控制的孔隙形态的抛光垫

权利要求书

1.一种形成化学机械平坦化抛光垫的方法，包括：

提供组合物，所述组合物包含网络构件，以及聚合物或反应性预聚合物的至少一者；

将第一气体导入所述组合物中；以及

使用所述气体在所述组合物中制造多个孔隙。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述将第一气体导入所述组合物中的步骤是通过所述组合物中的成份挥发以提供所述气体而实现。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于：

所述成分是由于化学反应、热反应及暴露至热的至少一者而进行挥发。

4.如权利要求2所述的方法，其特征在于：

所述成分包括起泡剂。

5.如权利要求2所述的方法，其特征在于：

所述成分具有所述网络构件。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述将第一气体导入所述组合物中的步骤中是通过将所述组合物内的起泡剂暴露至生成所述气体的条件而实现。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于：

所述起泡剂具有所述网络构件。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述组合物是通过将所述网络构件放置在铸具中并随后导入所述聚合物与所述反应性预聚合物的至少一者至所述铸具中而提供。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述第一气体是在所述组合物在铸具中胶化的期间内导入所述组合物中。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

至少一部分的所述网络构件是连结到至少一部分的所述孔隙。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述网络构件是互相连结的。

12.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述网络构件是提供在所述垫内的层中。

13.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

至少一部分的所述网络构件是亲水性的。

14.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

所述网络构件包括多条纤维。

15.如权利要求14所述的方法，其特征在于：

所述纤维是以织物的形式提供。

16.如权利要求14所述的方法，其特征在于：

所述纤维是以薄片的形式提供。

17.如权利要求1所述的方法，其特征在于：

当使用所述垫进行抛光时，在与所述垫并用的浆料的存在下，至少一部分的所述网络构件是可溶解的。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于：

所述网络构件包括多条可溶解在所述浆料中的纤维。

19.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述网络构件具有长度、宽度及/或厚度的尺寸，且在所述聚合物或反应性预聚合物的一者的存在下，所述长度、宽度或厚度尺寸的一者通过施加力而改变，其中所述力被移除且所述长度、宽度及/或厚度的至少一者的值改变，形成一或多个孔隙。

20.如权利要求1所述的方法，其特征在于所述第一气体及第二气体包括空气。

21.一种形成化学机械平坦化抛光垫的方法，包括：

提供组合物，所述组合物包含网络构件，以及聚合物及反应性聚合物的至少一者；

所述网络构件具有长度、宽度及/或厚度的尺寸，且在所述聚合物或反应性预聚合物的一者的存在下，所述长度、宽度或厚度尺寸中的一者通过施加力而改变，其中所述力被移除且所述长度、宽度及/或厚度的至少一者的值改变，形成一或多个孔隙。

22.一种化学机械平坦化抛光垫，包括：

分散在聚合物内的网络构件；

多个形成在所述垫中的孔隙；以及

至少一部分的所述网络构件连结到至少一部分的所述孔隙。

23.如权利要求22所述的垫，其特征在于：

孔隙所定义的空间为0.1立方微米至1,000,000立方微米。