[发明专利]涡轮分子泵

权利要求书

1.一种涡轮分子泵，该涡轮分子泵包括：

多个节段，该多个节段交替地布置有转子和定子，所述转子具有多个从旋转体呈放射状地延伸的叶片，所述定子具有多个朝所述旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片，

其中，设置在所述转子或所述定子中的至少任一个上的所述叶片形成为扭转叶片，通过其中将距所述旋转轴的半径方向距离作为变量的方程式来设定所述叶片的叶片角；并且所述叶片角的所述方程式包括第一方程式和第二方程式，所述第一方程式为位于预定半径外的每个叶片提供最佳角度，所述第二方程式提供抑制气体分子在所述预定半径内的反流的叶片角。

2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，

其中，所述第一方程式中的所述叶片角α满足条件α_out≤α≤α_b，所述第二方程式中的所述叶片角α满足条件α_b≥α≥α_in，其中，α_b是在所述预定半径处的叶片角，α_in是在所述叶片的最内周处的叶片角，α_out是在所述叶片的最外周处的叶片角。

3.根据权利要求1或2所述的涡轮分子泵，其中，所述第一方程式或第二方程式的至少任一个包括多个方程式。

4.根据权利要求1所述的涡轮分子泵，其中，涉及叶片角α的所述第一方程式被设定成α＝α_out(α_b-α_out)·(D/G_bout)，涉及叶片角α的所述第二方程式被设定成α＝α_in+(α_b-α_in)·(G-D)/G_bin，其中，α_b是在所述预定半径处的叶片角，α_in是在所述叶片的最内周处的叶片角，α_out是在所述叶片的最外周处的叶片角，D是距所述叶片最外周的距离，G是所述叶片的长度，G_bout是从所述叶片的最外周到所述预定半径的长度，G_bin是从所述叶片的最内周到所述预定半径的长度。

5.一种涡轮分子泵，该涡轮分子泵包括交替地布置的转子和定子的多个节段，所述转子包括多个从旋转体呈放射状地延伸的叶片，所述定子包括多个朝所述旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片，

其中，所述叶片是扭转叶片，该扭转叶片的叶片角α在预定半径外满足条件“α_out≤α≤α_b”，并且在所述预定半径内满足条件α_b≥α≥α_in，其中，α_b是在所述预定半径处的叶片角，α_in是在所述叶片的最内周处的叶片角，α_out是在所述叶片的最外周处的叶片角。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的涡轮分子泵，其中，所述转子的所述叶片形成为满足方程式{Sx-(H/tan αx)}/2≥{Sy-(H/tan αy)}/2，其中Sx和αx分别表示在距叶片的最外周任意距离处叶片的叶片间距和叶片角，Sy和αy分别表示在比所述任意距离小的距离处的叶片间距和叶片角，H表示叶片的轴向高度。

7.根据权利要求4所述的涡轮分子泵，其中，所述转子的所述叶片形成为满足方程式S＝S_out-(S_out-S_in)·(D/G)，其中，S表示在距所述叶片的最外周任意距离处的叶片间距，S_out表示在所述叶片的最外周处的叶片间距，S_in表示在所述叶片的最内周处的叶片间距。

8.根据权利要求4所述的涡轮分子泵，其中，在所述预定半径外根据方程式S＝S_out-(S_out-Sb)·(D/G_bout)来设定所述转子的所述叶片的所述叶片间距S，并且在所述预定半径内根据方程式S＝S_out-(S_b-S_in)·(D-G_bout)/G_bin来设定所述转子的所述叶片的所述叶片间距S，其中，S是在距所述叶片的最外周任意距离处的叶片间距，S_out是在所述叶片的最外周处的叶片间距，S_in是在所述叶片的最内周处的叶片间距，S_b是在所述预定半径处的叶片间距。