[发明专利]激光加工设备

权利要求书

1.一种加工工件(7)的激光加工设备，所述设备包括光束导向装置(6)，所述光束导向装置包括用于工件加工的激光束(5)的气体气氛；以及借助于光声效应检测光束导向装置(6)内气体气氛中杂质的装置(检测装置)，其中检测装置包括检测室，所述检测室包含光束导向装置(6)内的气体气氛和调整至所需输出的激光束，且其中所述检测装置还包括至少一个测头(11)，在所述检测室内通过所述测头可检测光声效应，其特征在于，光束导向装置(6)作为检测室被提供而且包含调整至所需输出的激光束，并且测头(11)集成在光束导向装置(6)内。

2.如权利要求1所述的激光加工设备，其特征在于，至少一个测头(11)与控制和计算单元(12)一起形成用于检测光束导向装置(6)内的气体气氛的机构，所述控制和计算单元连接到激光加工设备的激光发生器(2)。

3.如权利要求2所述的激光加工设备，其特征在于，控制和计算单元(12)具有用于调节激光输出的机构。

4.如权利要求2或3所述的激光加工设备，其特征在于，控制和计算单元(12)与激光加工设备的设备控制器(13)相连。

5.如任一前述权利要求所述的激光加工设备，其特征在于，至少一个测头(11)安放在光束导向装置(6)内。

6.如任一前述权利要求所述的激光加工设备，其特征在于，至少一个测头(11)安放在光束导向装置(6)的窗口上。

7.如任一前述权利要求所述的激光加工设备，其特征在于，至少一个测头(11)由麦克风形成。