[发明专利]检查系统有效
申请号: | 200880130743.3 | 申请日: | 2008-08-07 |
公开(公告)号: | CN102119328A | 公开(公告)日: | 2011-07-06 |
发明(设计)人: | 三宅淳司 | 申请(专利权)人: | 凯德易株式会社 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 徐申民 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查 系统 | ||
1.一种检查系统(100),其特征在于,
该检查系统(100)包括摄像装置(2),所述摄像装置包括:多个摄像元件(22),其沿着垂直相交的2个假想轴的X轴和Y轴方向2维排列;摄像控制部(3),其在规定的摄像时刻接受来自全部或者部分的所述摄像元件(22)的光量信号,将这些光量信号所表示的各检测光量值作为2维图像数据存储在设定于存储器上的图像存储区域(D1);图像处理部(4),其对所述2维图像数据施行处理并生成检查用数据,该检查系统(100)使对象物(W)相对所述摄像装置(2)在所述X轴方向相对移动,同时通过该摄像装置(2)来拍摄,
其中,所述摄像控制部(3)调整所述摄像时刻,使得所述对象物(W)在摄像元件(22)上的投影像在所述X方向上移动m个像素的时间、即投影像单位移动时间,与接收来自所述摄像元件(22)的光量信号并存储在所述图像存储区域(D1)上作为该对象物(W)的单一的2维图像数据的时间间隔、即摄像时间间隔同步,其中m是1以上的整数,
所述图像处理部(4)包括:确定部(41),其基于在各摄像时刻所拍摄的各2维图像数据中,对象物(W)每次在X方向偏移m个像素地出现这一情况,从各2维图像数据中分别确定拍摄了所述对象物(W)的相同检查位置的部分图像数据;和数据生成部(42),其基于所述各部分图像数据,生成对该检查位置施行了噪音降低处理的检查用数据。
2.如权利要求1所述的检查系统(100),其特征在于,
进一步地包括栅格图形形成单元(1),其形成单元栅格(1a)连续的栅格图形(11),所述单元栅格(1a)是由具有一定宽度的亮部以及暗部所构成的,
所述检查系统(100)分别将所述栅格图形(11)配置在所述摄像装置(2)的焦点位置,将所述对象物(W)配置在从所述栅格图形(11)到摄像装置(2)的光路上,同时使得所述栅格图形(11)在摄像元件(22)上的投影像中,n个单元栅格(1a)与Xn±α个摄像元件(22)对应,其中n是1以上的整数,X=4p,p是1以上的整数,α<<n。
所述数据生成部(42)包括:光学变形算出部(421),其根据由所述栅格图形(11)在所述部分图像数据上出现的莫尔条纹,计算出所述检查位置的部分图像数据的各部分所产生的光学变形量;和噪音降低部(422),其对各部分图像数据的光学变形量进行累计,生成所述检查用数据。
3.如权利要求2所述的检查系统(100),其特征在于,
所述光学变形算出部(421)包括:
正弦波生成部(421a),其从所述莫尔条纹图像数据中提取并生成相位各偏差90°的多个种类的正弦波;
相位角度算出部(421b),其根据所述各正弦波计算出各摄像元件(22)上的莫尔条纹的相位角度;
变形量算出部(421c),其根据所述摄像元件(22)之间的相位角度之差计算出所述光学变形量。
4.一种摄像装置(2),其特征在于,该摄像装置(2)包括:
沿着垂直相交的2个假想轴的X轴和Y轴方向2维排列的多个摄像元件(22);摄像控制部(3),其在规定的摄像时刻接受来自全部或者部分的所述摄像元件(22)的光量信号,将这些光量信号所表示的各光量值作为2维图像数据存储在设定于存储器上的图像存储区域(D1);图像处理部(4),其对所述2维图像数据施行图像处理并生成噪音降低数据,所述摄像装置(2)使得对象物(W)在所述X方向上相对地移动,同时以规定的时间间隔摄像,
所述摄像控制部(3),调整所述摄像时刻,使得所述对象物(W)在摄像元件(22)上的投影像在所述X方向上移动m个像素的时间、即投影像单位移动时间,与接收来自所述摄像元件(22)的光量信号并存储在所述图像存储区域(D1)内作为该对象物(W)的单一的2维图像数据的时间间隔、即摄像时间间隔同步,其中m是1以上的整数,
所述图像处理部(4)包括:确定部(41),其基于在各摄像时刻所拍摄的各2维图像数据中,对象物(W)每次在X方向偏移m个像素地出现这一情况,从各2维图像数据中分别确定拍摄了所述对象物(W)的相同位置的部分图像数据;和数据生成部(42),基于所述各部分图像数据,生成对该位置施行了噪音降低处理的噪音降低数据。
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