[发明专利]检查系统

权利要求书

1.一种检查系统(100)，其特征在于，

该检查系统(100)包括摄像装置(2)，所述摄像装置包括：多个摄像元件(22)，其沿着垂直相交的2个假想轴的X轴和Y轴方向2维排列；摄像控制部(3)，其在规定的摄像时刻接受来自全部或者部分的所述摄像元件(22)的光量信号，将这些光量信号所表示的各检测光量值作为2维图像数据存储在设定于存储器上的图像存储区域(D1)；图像处理部(4)，其对所述2维图像数据施行处理并生成检查用数据，该检查系统(100)使对象物(W)相对所述摄像装置(2)在所述X轴方向相对移动，同时通过该摄像装置(2)来拍摄，

其中，所述摄像控制部(3)调整所述摄像时刻，使得所述对象物(W)在摄像元件(22)上的投影像在所述X方向上移动m个像素的时间、即投影像单位移动时间，与接收来自所述摄像元件(22)的光量信号并存储在所述图像存储区域(D1)上作为该对象物(W)的单一的2维图像数据的时间间隔、即摄像时间间隔同步，其中m是1以上的整数，

所述图像处理部(4)包括：确定部(41)，其基于在各摄像时刻所拍摄的各2维图像数据中，对象物(W)每次在X方向偏移m个像素地出现这一情况，从各2维图像数据中分别确定拍摄了所述对象物(W)的相同检查位置的部分图像数据；和数据生成部(42)，其基于所述各部分图像数据，生成对该检查位置施行了噪音降低处理的检查用数据。

2.如权利要求1所述的检查系统(100)，其特征在于，

进一步地包括栅格图形形成单元(1)，其形成单元栅格(1a)连续的栅格图形(11)，所述单元栅格(1a)是由具有一定宽度的亮部以及暗部所构成的，

所述检查系统(100)分别将所述栅格图形(11)配置在所述摄像装置(2)的焦点位置，将所述对象物(W)配置在从所述栅格图形(11)到摄像装置(2)的光路上，同时使得所述栅格图形(11)在摄像元件(22)上的投影像中，n个单元栅格(1a)与Xn±α个摄像元件(22)对应，其中n是1以上的整数，X＝4p，p是1以上的整数，α＜＜n。

所述数据生成部(42)包括：光学变形算出部(421)，其根据由所述栅格图形(11)在所述部分图像数据上出现的莫尔条纹，计算出所述检查位置的部分图像数据的各部分所产生的光学变形量；和噪音降低部(422)，其对各部分图像数据的光学变形量进行累计，生成所述检查用数据。

3.如权利要求2所述的检查系统(100)，其特征在于，

所述光学变形算出部(421)包括：

正弦波生成部(421a)，其从所述莫尔条纹图像数据中提取并生成相位各偏差90°的多个种类的正弦波；

相位角度算出部(421b)，其根据所述各正弦波计算出各摄像元件(22)上的莫尔条纹的相位角度；

变形量算出部(421c)，其根据所述摄像元件(22)之间的相位角度之差计算出所述光学变形量。

4.一种摄像装置(2)，其特征在于，该摄像装置(2)包括：

沿着垂直相交的2个假想轴的X轴和Y轴方向2维排列的多个摄像元件(22)；摄像控制部(3)，其在规定的摄像时刻接受来自全部或者部分的所述摄像元件(22)的光量信号，将这些光量信号所表示的各光量值作为2维图像数据存储在设定于存储器上的图像存储区域(D1)；图像处理部(4)，其对所述2维图像数据施行图像处理并生成噪音降低数据，所述摄像装置(2)使得对象物(W)在所述X方向上相对地移动，同时以规定的时间间隔摄像，

所述摄像控制部(3)，调整所述摄像时刻，使得所述对象物(W)在摄像元件(22)上的投影像在所述X方向上移动m个像素的时间、即投影像单位移动时间，与接收来自所述摄像元件(22)的光量信号并存储在所述图像存储区域(D1)内作为该对象物(W)的单一的2维图像数据的时间间隔、即摄像时间间隔同步，其中m是1以上的整数，

所述图像处理部(4)包括：确定部(41)，其基于在各摄像时刻所拍摄的各2维图像数据中，对象物(W)每次在X方向偏移m个像素地出现这一情况，从各2维图像数据中分别确定拍摄了所述对象物(W)的相同位置的部分图像数据；和数据生成部(42)，基于所述各部分图像数据，生成对该位置施行了噪音降低处理的噪音降低数据。