[发明专利]具有提高的热电优值的SiGe基质纳米复合材料无效
申请号: | 200880131123.1 | 申请日: | 2008-07-11 |
公开(公告)号: | CN102149845A | 公开(公告)日: | 2011-08-10 |
发明(设计)人: | 纳塔利·明戈·比斯克特;小林信彦;马克·普利索尼耶;阿里·沙科里 | 申请(专利权)人: | 法国原子能与替代能源委员会 |
主分类号: | C23C16/22 | 分类号: | C23C16/22;H01L35/22 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 傅强国 |
地址: | 法国*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 提高 热电 sige 基质 纳米 复合材料 | ||
1.含有SiGe基质的纳米复合材料,所述基质中分散有硅化物和/或锗化物纳米夹杂物。
2.如权利要求1所述的纳米复合材料,其特征在于,所述纳米夹杂物是由对应于通式(I)的材料制成:
SinGemAp
(I)
其中A是选自过渡金属、镧系元素和锕系元素的化合物,n、m、p是整数,
n≥0、m≥0、p>0,n和m不能同时为0。
3.如权利要求1或2所述的纳米复合材料,其特征在于,所述基质是基于可以通过如下通式描述的SiGe合金:
SixGe(1-x)
其中,x是严格包含在0和1之间的数:0<x<1。
4.如权利要求3所述的纳米复合材料,其特征在于,0.3≤x≤0.8,优选0.4≤x≤0.7。
5.如权利要求1至4中任一项所述的纳米复合材料,其特征在于,所述纳米夹杂物是纳米颗粒。
6.如权利要求1至5中任一项所述的纳米复合材料,其特征在于,所述纳米颗粒具有等于或小于100nm的尺寸,优选1nm至100nm。
7.如权利要求5或6所述的纳米复合材料,其特征在于,相对于SiGe基质体积的纳米夹杂物的体积比Vf包括在如下限制内:
0.1%≤Vf≤10%。
8.如权利要求1至7中任一项所述的纳米复合材料,其特征在于,所述纳米夹杂物由硅化物制成,并且对应于如下通式:
SinAp
(II)
其中,n和p都是严格的正整数。
9.如权利要求8所述的纳米复合材料,其特征在于,A选自下组:Mg、Ti、V、Ni、Mo、Er、Yb、W、Fe、Cr、Co、Mn、Ru、Os、Ir,更优选A是选自下组:Ir、Ru、Fe、Ni、W、Co。
10.如权利要求8或9所述的纳米复合材料,其特征在于,所述纳米夹杂物材料选自如下:Mg2Si、TiSi2、VSi2、NiSi2、MoSi2、ErSi2、YbSi2、WSi2、β-FeSi2、CrSi2、MnSi2、RuSi3、OsSi2、Ir3Si5、Os2Si3、OsSi。
11.如权利要求1至10中任一项所述的纳米复合材料,其特征在于,所述材料呈现出的导热性与由基质材料所制成的均质合金相比下降至少2倍,优选下降超过5倍。
12.如权利要求1至11中任一项所述的纳米复合材料,其特征在于,所述材料在室温下呈现出的热电优值(ZT)超过或等于0.5。
13.制造如权利要求1至12中任一项所述的纳米复合材料的方法,所述方法包括:在衬底上生长缓冲层;以及通过选自分子束外延和化学气相沉积的方法在缓冲层上生长纳米复合结构。
14.如权利要求13所述的方法,其特征在于,所述衬底是硅衬底。
15.电子元件,其包括至少一层根据权利要求1至12中任一项所述的纳米复合材料的层。
16.如权利要求15所述的电子元件,其特征在于,所述元件选自如下:热电发生器和热电制冷器。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的