[发明专利]压力调节器

说明书

技术领域

本发明涉及一种压力调节器，该压力调节器根据预定的压力调节来自流体供给源的压力流体的压力，并将其供给流体压力操作装置(operating appliance)。

背景技术

压力调机器用于根据预定的压力调节来自气压源(pneumatic source)的压缩空气的压力，该气压源为流体供给源，并将压缩空气供给至气动操作装置(pneumatic operating appliance)，例如气缸的。如专利文件1中所公开的，压力调节器具有供给有压缩空气的主侧口(primary-side port)和连接有气动操作装置的副侧口(secondry-side port)，其中，连接两个口的连通孔的开口的端部可以通过阀芯而开启和关闭。阀芯在关闭开口端部的阀座方向上受到由阀弹簧施加的弹簧力。压力调节器具有膜片(diaphragm)，该膜片由于副侧口的设定压力和大气压力之间的压差而产生弹性形变。膜片上形成有排放孔，副侧的(secondary level)空气通过该排放孔排放到外部。与阀芯连接的阀杆的末端与膜片紧邻从而关闭排放孔，通过阀杆在打开阀座的方向上的弹簧力由压力调节弹簧施加到膜片。

在上述的压力调节器中，当副侧的压力低于设定压力时，压力调节弹簧的压力使膜片通过阀杆打开阀座，将主侧的压缩空气供给至副侧口。当副侧口的压缩空气的压力达到设定压力时，供给至膜片的气压使膜片在与阀芯分离的方向上移动，并且使阀芯与阀座接触并关闭阀座，从而切断主侧口与副侧口的连通。

同时，当副侧压力上升至高于设定压力时，膜片在与阀芯分离的方向上移动，并且膜片与阀杆的尖端分离以开启排放孔，从而使副侧压力排放至外部。当副侧压力降低时，膜片与阀杆接触以关闭排放孔。因此，例如在用于具有气动操作装置的气动回路的压力减小时，降低供给至气动操作装置的压缩空气的压力，新的副侧压力就会设定为更低。这样，副侧配管中的压缩空气会通过排放孔排放至外部直至达到重新设定的设定压力。并且，由于与气缸等的推杆的动作方向相反的方向上的负载从外部作用使副侧的设定压力升高时，副侧配管(secondary-side pipe)中的压缩空气通过排放孔排放至外部以使得设定压力恒定。

当供给至副侧口的压缩空气的压力设定为间歇地驱动例如气缸等气动操作装置时，副侧的空气会被消耗，并且其压力也会间歇地变化，从而使阀座更频繁地被阀芯开启并关闭。因此，由于从主侧口至副侧口的压缩空气流变得断断续续，使阀芯发生振动，从而产生振动噪声，并且副侧压力不断地发生变化，结果使稳定性降低。同时，当副侧配管中的空气经排放孔排放时，通过从副侧口向排放孔的空气的逆流而使膜片发生振动，从而产生振动噪声，并且副侧压力不断地发生变化，结果使稳定性降低。当阀芯和膜片振动时，会加剧设置在阀芯上的密封件的磨损并加速膜片的劣化，结果使压力调节器的耐久性降低。此外，并发的振动噪声甚至可能会导致工作环境恶化。

众所周知地，抑制振动部件的振动的振动控制器为动态吸振装置。动态吸振装置包括质量体、弹簧和阻尼器，其中，质量体通过弹簧连接在振动控制对象上。当振动控制对象振动时，动态吸振装置的质量体发生振动，并且振动控制对象具有的振动能量中的一部分转化为质量体的振动能量，从而使振动控制对象的振动得到抑制。专利文件2公开了一种用于吸收电动装置的基板的振动的动态吸振装置，专利文件3公开了一种用于抑制由装配在显微镜上的电动机构产生的振动的动态吸振装置。动态吸振装置被称为动态吸振器或动态减振器。

专利文件1：日本专利申请公开公开号10-268943

专利文件2：日本专利申请公开公开号2007-285320

专利文件3：日本专利第3911372号

发明内容

发明所解决的问题

如上所述，当供给至副侧口的压缩空气的压力设定为间歇地驱动例如气缸等气动操作装置时，副侧的空气会被消耗，并且其压力也会间歇地变化，从而使阀座频繁地被阀芯开启并关闭。当从主侧口以脉冲方式流向副侧口的压缩空气的频率与包括阀芯的可动部的固有频率相一致时，阀芯会发生共振。当阀芯振动时，由于阀座的开度与取决于副侧的设定压力的预定开度不相等，使副侧的压力发生变化并脱离设定压力，从而使压力调节器的压力调节的稳定性降低。同时，当副侧配管中的空气经排放孔排放时，由于从副侧口向排放孔的空气的逆流而使膜片发生振动，并且其副侧的压力发生变化并脱离设定压力，从而使压力调节器的压力调节的稳定性降低。此外，并发的振动噪声可能会导致工作环境恶化。