[发明专利]数字微镜器件无效
| 申请号： | 200880132192.4 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN102239436A | 公开（公告）日： | 2011-11-09 |
| 发明（设计）人： | G·J·麦克沃依;R·P·S欧瑞丽;V·P·劳勒;K·西尔弗布鲁克 | 申请（专利权）人： | 西尔弗布鲁克研究股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03B21/28;B81B7/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 朱智勇 |
| 地址： | 澳大利亚*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 数字 器件 | ||
1.一种数字微镜器件，包括位于基片上的微镜组件的阵列，每个微镜组件包括：
与基片隔开的反射镜，所述反射镜具有上反射面和下支承面；
支承所述反射镜的杆，所述杆从所述基片延伸到所述下支承面，所述杆形成所述反射镜的倾斜轴；
第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极分别位于所述杆的两侧，每个电极都是可通过所述基片内的电子电路个别访问的，
其中，所述杆由弹挠性材料构成，使得所述反射镜能够凭借静电力向所述第一电极或向所述第二电极倾斜。
2.根据权利要求1的数字微镜器件，其中，所述杆由聚合物构成。
3.根据权利要求1的数字微镜器件，其中，所述杆由聚二甲基硅氧烷PDMS构成。
4.根据权利要求1的数字微镜器件，其中，所述上反射面整个区域是平的。
5.根据权利要求1的数字微镜器件，其中，所述反射镜包括形成所述上反射面的金属板。
6.根据权利要求5的数字微镜器件，其中，所述金属板是铝板。
7.根据权利要求5的数字微镜器件，其中，所述反射镜还包括所述金属板的支承台，所述支承台形成所述下支承面。
8.根据权利要求7的数字微镜器件，其中，所述支承台与所述金属板是基本上共同延伸的。
9.根据权利要求7的数字微镜器件，其中，所述支承台和所述杆由同样的材料构成。
10.根据权利要求1的数字微镜器件，其中，所述第一电极和第二电极形成所述反射镜的第一和第二着落垫。
11.根据权利要求10的数字微镜器件，其中，所述反射镜具有分别接触第一和第二着落垫的第一和第二接触点，以及其中，所述第一和第二接触点由聚合物构成。
12.根据权利要求11的数字微镜器件，其中，所述支承台形成所述第一和第二接触点。
13.根据权利要求1的数字微镜器件，其中，所述反射镜与偏置电位电连接。
14.根据权利要求13的数字微镜器件，其中，所述杆由导电聚合物构成，所述杆提供与所述偏置电位的电连接。
15.根据权利要求14的数字微镜器件，其中，所述杆由注入了金属离子的聚二甲基硅氧烷PDMS构成。
16.根据权利要求13的数字微镜器件，其中，多个反射镜按行联接在一起，每行在一端电连接到所述偏置电位。
17.根据权利要求1的数字微镜器件，其中，每行反射镜具有一个共同的倾斜轴。
18.根据权利要求1的数字微镜器件，其中，一行内的相邻反射镜通过链接联接在一起，所述链接是沿所述共同的倾斜轴对准的。
19.根据权利要求1的数字微镜器件，其中，所述基片是包括一个或多个CMOS层的硅基片，所述CMOS层包括所述电子电路。
20.一种投影机，包括根据权利要求1的数字微镜器件。
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