[发明专利]催化剂辅助化学气相生长装置

权利要求书

1.一种催化剂辅助化学气相生长装置，其特征在于，具有：

反应室；

气体导入源，由其向上述反应室导入原料气体；

丝状催化剂，在钽丝表面形成其硼化物层而制成该丝状催化剂，该丝状催化剂与设置在上述反应室内的被处理基板面对设置；

加热源，由其使上述丝状催化剂加热。

2.根据权利要求1所述的催化剂辅助化学气相生长装置，其特征在于，

还具有控制机构，上述加热源对上述丝状催化剂进行通电加热，该控制机构控制上述加热源使其连续通电。