[发明专利]用于磨片的磨条和凹槽模式和用于挤压研磨的方法

权利要求书

1.一种包含相对磨片的机械研磨系统，所述相对磨片的至少一磨片包括：

研磨表面，包括磨条和凹槽，其中，所述磨条每一个具有一前边缘，所述 前边缘位于所述磨条一前面的上部侧壁部分和所述磨条的上部脊之间，其中， 所述上部脊的表面具有一在所述前边缘和所述磨条后边缘之间延伸的平坦平 面；

其中，所述前面面向相对磨片的转向取向，并且所述前边缘具有在155度 到175度之间的内角，所述内角位于所述上部侧壁部分和所述上部脊之间，所 述前面位于所述上部脊和其中一邻近所述磨条的凹槽的底部之间，以及

所述磨条每一个具有形成一内角的后边缘，所述后边缘的内角的角度在80 度到140度之间，并且所述后边缘的内角位于所述上部脊和所述磨条的一后面 之间。

2.根据权利要求1所述的机械研磨系统，其特征在于，所述每个磨条的 前面从所述前边缘到相邻磨条的后面延伸。

3.根据权利要求1所述的机械研磨系统，其特征在于，所述前面包括垂 直于所述上部脊且位于所述上部侧壁部分下的下部侧壁部分。

4.根据权利要求1所述的机械研磨系统，其特征在于，所述前面在横截 面中凹入或凸出。

5.根据权利要求1所述的机械研磨系统，其特征在于，所述后边缘的内 角在80度到100度范围内取值。

6.根据权利要求1所述的机械研磨系统，其特征在于，所述凹槽每一个 具有通过所述前面和相邻磨条的后面相交形成的底部。

7.根据权利要求1所述的机械研磨系统，其特征在于，所述磨片为定子 磨片，并且所述前面面向转子磨片的靠近磨条取向，其中，相对的磨片包括定 子磨片和转子磨片。

8.根据权利要求1所述的机械研磨系统，其特征在于，所述磨片包括径 向布置在所述磨片上的多个研磨区，所述研磨区的至少一个包括所述研磨表 面。

9.一种包含相对的磨片的机械研磨系统，所述相对磨片的至少一磨片包 括：

研磨表面，包括磨条和位于所述磨条之间的凹槽；

所述磨条每一个具有前面、上部脊表面和由所述前面的上部侧壁部分和所 述上部脊表面相交形成的前边缘，其中，所述前面面向所述相对的磨片的旋转 方向，并且其中所述上部脊的表面具有一在所述前边缘和所述磨条后边缘之间 延伸的平坦平面；

所述前面位于所述上部脊表面和其中一邻近所述磨条的凹槽的底部之间， 所述上部侧壁的整体相对于所述上部脊表面具有在155度到175度之间的内 角；

所述磨条每一个具有一后面和一由所述后面和所述上部脊表面相交形成 的后边缘，其中，所述后边缘具有一位于所述上部脊和后面之间内角，所述内 角的角度在80度到140度之间；

所述凹槽每一个具有在相邻的磨条的所述上部脊之间延伸的宽度，并且

其中，每一个磨条的所述上部脊表面的宽度在所述脊表面和凹槽宽度的总 宽度的30％到75％范围中。

10.根据权利要求9所述的机械研磨系统，其特征在于，所述磨条的上部 脊表面的宽度在所述磨条相邻的凹槽宽度的80％到120％的范围中。

11.根据权利要求9所述的机械研磨系统，其特征在于，所述研磨表面在 所述磨片环状研磨区中。

12.根据权利要求9所述的机械研磨系统，其特征在于，所述前面包括下 部侧壁部分，所述下部侧壁部分垂直于所述磨条的基底，并且下部侧壁部分位 于所述上部侧壁部分的下面。

13.根据权利要求9所述的机械研磨系统，其特征在于，所述前面从所述 前边缘延伸到相邻磨条的后面。

14.根据权利要求9所述的机械研磨系统，其特征在于，所述磨条每一个 在上部脊处具有在与所述磨条相邻的凹槽宽度的80％到120％之间的宽度。

15.根据权利要求9所述的机械研磨系统，其特征在于，所述磨条每一个 包括在横截面中凹入或凸出的前面。