[发明专利]研磨片清洗液无效
| 申请号： | 200910001035.6 | 申请日： | 2009-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN101781612A | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 闵学勇;邢振林 | 申请（专利权）人： | 昆山市百益电子科技材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/68 | 分类号： | C11D1/68 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种研磨片清洗液，其特征在于清洗液组分及重量百份比如下：醇类1-10；醚类1-30；螯合剂0.1-5；余量为去离子水。
2.根据权利要求1所述的一种研磨片清洗液，其特征在于，所述醚类为乙二醇醚或丙二醇醚中的几种混合物。
3.根据权利要求1所述的一种研磨片清洗液，其特征在于，所述螯合剂为乙二胺四乙酸，柠檬酸和氨基酸及其盐中的至少一种。
4.根据权利要求1所述的一种研磨片清洗液，其特征在于，所述醇为甲醇、乙醇、异丙醇中的至少一种。
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