[发明专利]柔性电子压力感测装置及其制造方法

权利要求书

1.一种柔性电子压力感测装置，包括：

第一柔性薄膜；

第二柔性薄膜，有间隔地设置在该第一柔性薄膜的下方，并与该第一柔 性薄膜构成第一空间；

多个第一电极，阵列地配置在该第一柔性薄膜上，且位于该第一柔性薄 膜及该第二柔性薄膜之间；

多个第二电极，阵列地配置在该第二柔性薄膜上，且位于该第一柔性薄 膜及该第二柔性薄膜之间；

多个第一感测块，分别配置在这些第一电极上，并分别与该对应的第二 电极相隔离；

第三柔性薄膜，有间隔地设置在该第一柔性薄膜的上方，并较该第一柔 性薄膜远离该第二柔性薄膜，且与该第一柔性薄膜构成第二空间，其中该第 一空间内与该第二空间内的空气维持该第一柔性薄膜相对于该第二柔性薄 膜的距离；以及

多个第一凸块，分别对应于这些第一感测块而配置在该第一柔性薄膜 上，且位于该第一柔性薄膜及该第三柔性薄膜之间。

2.如权利要求1所述的柔性电子压力感测装置，其中该第一感测块的材 料为电阻材料、压阻材料、压电材料、电感材料、电磁材料或热电材料。

3.如权利要求1所述的柔性电子压力感测装置，还包括：

第二感测块，分别配置在这些第二电极上，并分别与该对应的第一感测 块相隔离。

4.如权利要求3所述的柔性电子压力感测装置，其中该第二感测块的材 料为电阻材料、压阻材料、压电材料、电感材料、电磁材料或热电材料。

5.如权利要求1所述的柔性电子压力感测装置，还包括：

墙状物，配置于该第一柔性薄膜与该第二柔性薄膜之间，且位于这些第 一感测块的两相邻者之间。

6.如权利要求5所述的柔性电子压力感测装置，其中该墙状物将该第一 空间分隔成多个子空间。

7.如权利要求6所述的柔性电子压力感测装置，其中这些子空间为多个 密闭空间。

8.如权利要求6所述的柔性电子压力感测装置，其中这些子空间相互连 通。

9.如权利要求1所述的柔性电子压力感测装置，其中该第一空间与该第 二空间相互连通。

10.如权利要求1所述的柔性电子压力感测装置，其中该第二柔性薄膜 及该第三柔性薄膜所组成的外层结构包含单向气阀或双向气阀。

11.如权利要求1所述的柔性电子压力感测装置，其中该第一空间为密 闭空间，其内部气压大于1大气压。

12.如权利要求1所述的柔性电子压力感测装置，其中该第二空间为密 闭空间，其内部气压大于1大气压。

13.如权利要求1所述的柔性电子压力感测装置，其中该第一空间及该 第二空间组成密闭空间，其内部气压大于1大气压。

14.如权利要求1所述的柔性电子压力感测装置，还包括：

第四柔性薄膜，有间隔地设置在该第二柔性薄膜的下方，并与该第二柔 性薄膜构成第三空间，其中该第一空间内与该第三空间内的空气维持该第二 柔性薄膜相对于该第一柔性薄膜的距离；以及

多个第二凸块，分别对应于这些第一感测块而配置在该第二柔性薄膜 上，且位于该第二柔性薄膜及该第四柔性薄膜之间。

15.如权利要求14所述的柔性电子压力感测装置，其中该第一空间与该 第三空间相互连通。

16.如权利要求14所述的柔性电子压力感测装置，其中该第三柔性薄膜 及该第四柔性薄膜所组成的外层结构包含单向气阀或双向气阀。

17.如权利要求14所述的柔性电子压力感测装置，其中该第三空间为一 密闭空间，其内部气压大于1大气压。

18.如权利要求14所述的柔性电子压力感测装置，其中该第一空间、该 第二空间及该第三空间组成密闭空间，其内部气压大于1大气压。