[发明专利]氢氧化四甲铵显影液的回收系统及其方法

权利要求书

1.一种氢氧化四甲铵显影液的回收方法，包含下列步骤：

测定回收液在波长210nm与220nm的吸收度，分别为A1与A2；

计算该回收液中的氢氧化四甲铵吸收度A3，A3＝A1-A2×Co，其中，Co＝(A1′-A3′)/A2′，A1′与A2′分别为已知氢氧化四甲铵浓度的回收液在波长210nm与220nm的吸光度，而A3′为该已知氢氧化四甲铵浓度在波长210nm的标准吸光度；

以氢氧化四甲铵在波长210nm的标准浓度吸光曲线求出该回收液中的氢氧化四甲铵吸收度A3对应的浓度；以及

根据该回收液中的氢氧化四甲铵浓度值添加适量的氢氧化四甲铵以达到标准氢氧化四甲铵浓度值为止。

2.根据权利要求1所述的氢氧化四甲铵显影液的回收方法，其中进一步包含步骤：当该回收液在波长210nm的吸收度A1大于1.2时，则先将该回收液适当稀释；

重新测定该回收液在波长210nm与220nm的吸收度。

3.一种氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其适用于显影过程之后的回收液中氢氧化四甲铵的回收使用，包括：

回收槽，通过回收管路回收显影机台排放的回收液；

调节槽，用以盛装高浓度的氢氧化四甲铵显影液，并以调节管路连结于该回收槽；

分光光度计，用以测定该回收槽中该回收液的吸光值；

处理装置，连结该分光光度计，根据测定的吸光值计算该回收液中氢氧化四甲铵的浓度，并根据该浓度控制该调节槽的管路，以输送适量的高浓度氢氧化四甲铵显影液至该回收槽中，使该回收槽中的氢氧化四甲铵显影液浓度达到标准值；

其中，该处理装置用以下方法计算该回收槽中氢氧化四甲铵的浓度：

读取该回收液在波长210nm与220nm的吸收度，为A1与A2；

计算该回收液中的氢氧化四甲铵吸收度A3，A3＝A1-A2×Co，其中，Co＝(A1′-A3′)/A2′，A1′与A2′分别为已知氢氧化四甲铵浓度的回收液在波长210nm与220nm的吸光度，而A3′为该已知氢氧化四甲铵浓度在波长210nm的标准吸光度；以及

以氢氧化四甲铵在波长210nm的标准浓度吸光曲线求出该回收液中的氢氧化四甲铵吸收度A3对应的浓度。

4.根据权利要求3所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中该处理装置为计算机主机。

5.根据权利要求3所述的氢氧化四甲铵显影液的回收系统，其中进一步包含稀释器，用以当该回收液在波长210nm的吸收度A1大于1.2时，则先将该回收液适当稀释，然后再进行测定。