[发明专利]气量计

说明书

技术领域

本发明涉及一种结构简单的气量计，它能够保护流量传感器远离尘埃，同时能够高 精度、可靠地对被测气体的流量进行计量。

背景技术

在使用热式流量传感器的气量计中，为提高检测灵敏度检测微小流量，提倡通过将 在壁面上安装有流量传感器的流路内部沿着流体流通方向划分为多个平行的微小流路， 从而提高在上述壁面位置的流速，或者通过在流路中途设置喷嘴部从而提高该喷嘴部的 流速(可参考例如专利文献1和2)

【专利文献1】日本专利特开平4-69521号公报

【专利文献2】日本专利特开平11-173896号公报

但是按照上述那样提高对于微小流量的检测灵敏度时，相应地对于大流量的检测灵 敏度也变高，因此，存在这样的问题：在大流量的流通时，流量传感器的输出饱和、无 法进行测量。所以，例如在最大测量流量为30,000[L/h]左右的气量计中，难以精密 检测到5[L/h]左右的微小泄漏流量。

另一方面，为了提高检测精度，防止被测气体中混入的异物(尘埃)附着在流量传 感器上是很重要的。因此，一直以来人们都在进行着各种在被测气体的流路中安插除尘 滤膜的尝试。但是，在被测气体的供给压为2kPa左右的低压气量计中允许的压力损失 至多也就200Pa左右，设置压力损失大的除尘滤膜是有问题的。尤其是捕尘率高、即所 谓的细筛孔除尘滤膜，由于压力损失大，装入上述低压气量计非常困难。

发明内容

本发明是考虑到上述这些情况而成。目的在于提供一种结构简单的气量计，它能够 保护流量传感器远离混入被测气体的异物(尘埃)，同时能够简单地、高精度、可靠地 对例如从气体泄漏等微小流量至气体通常使用状态的大流量进行检测。

具体地，本发明为一种气量计，结构为可以测量例如从5[L/h]左右的微小泄漏流 量至30,000[L/h]左右的大流量，尤其是，目的在于提供一种结构简单的气量计，它 能够确保流量传感器远离尘埃，同时能够实现流量测量的可靠性和测量精度的提高。

为达到上述目的，本发明的气量计的特征在于：具有

<a>将流通被测气体的主流路的流路截面沿着流路方向平行划分而并列设置、根据 气体流量使上述被测气体分流流通的第1、第2和第3流路；

<b>设置在上述第1流路的流量测量用的流量传感器、和设置在上述第2流路的泄 漏流量测量用流量传感器；

<c>分别设置在上述第1和第2流路的一端侧或它们的两端的整流用滤膜；

<d>设置在上述第1流路的一端侧或两端侧、捕捉混入上述被测气体的异物、阻止 异物流入上述第1流路的除异物滤膜。

顺便说一下，上述第3流路由流路截面积小于上述第1和第2流路的多个平行设置 的微细流路的集合体构成，与上述第1和第2流路相比分流量大，流通上述主流路的被 测气体的绝大部分流过上述第3流路。

与上述第3流路相比，流路截面积微小的上述第1和第2流路是这样构成的：当流 通上述主流路的被测气体的流量少时，相对于上述第3流路上述第1和第2流路的分流 比变高，当流通上述主流路的被测气体的流量多时，相对于上述第3流路分流比变低。

又，上述第2流路具有宽度狭窄部，所述宽度狭窄部是在确保了对被测气体的流动 助走的助走区域之后将流路截面积缩小的宽度狭窄部，上述第2流路具有在这个宽度狭 窄部装入流量传感器的流路结构。即，上述第2流路被设置成这样的结构：通过将流入 上述助走区域的被测气体导入上述宽度狭窄部从而提高流速，由此，即使上述被测气体 为微量也能够准确地检测出其流量。关于这个漏气测量用第2流路，较理想的是不设置 上述除异物滤膜，换言之，较理想的是仅在供流量测量的上述第1流路中设置除异物滤 膜。

关于上述第1和第2流路以及形成上述第3流路的多个微细流路，较好的是例如： 通过沿着上述主流路的流路方向设置的多个隔壁体，将该主流路的流路截面划分而形 成。