[发明专利]致动器以及使用其的电子设备

权利要求书

1.一种致动器，其特征在于，具备：

基板；

第1梁，其包含第1下部电极、第1上部电极、设置在上述第1下部 电极与上述第1上部电极之间的第1压电膜，并且其从第1固定端延伸到 第1连接端；

第1固定部，其连结上述第1固定端与上述基板，并且使上述第1梁 在上述基板的主面的上方空出间隙地支撑上述第1梁；

第2梁，其包含第2下部电极、第2上部电极、设置在上述第2下部 电极与上述第2上部电极之间的第2压电膜，并且其从第2连接端延伸到 第1作用端，与上述第1梁并排地设置，具有由从上述第1作用端向上述 第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；

第1连接部，其连结上述第1连接端与上述第2连接端，并且使上述 第2梁在上述基板的上述主面的上方空出间隙地保持上述第2梁；以及

第1固定电极，其与上述第1分割部的、上述第1作用端侧的一部分 相对，并且设置在上述基板的上述主面上。

2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于：

上述第2下部电极由与上述第1下部电极相同的材料构成；

上述第2压电膜由与上述第1压电膜相同的材料构成；

上述第2上部电极由与上述第1上部电极相同的材料构成。

3.根据权利要求2所述的致动器，其特征在于：上述第1连接部包含 与由构成上述第1下部电极的材料构成的层、由构成上述第1压电膜的材 料构成的层、由构成上述第1上部电极的材料构成的层分别相同的层。

4.根据权利要求3所述的致动器，其特征在于：

上述第1梁进一步包含设置在上述第1压电膜与上述第1上部电极之 间的第1中间电极、设置在上述第1中间电极与上述第1上部电极之间的 第1上侧压电膜；

上述第2梁进一步包含设置在上述第2压电膜与上述第2上部电极之 间的第2中间电极、设置在上述第2中间电极与上述第2上部电极之间的 第2上侧压电膜。

5.根据权利要求4所述的致动器，其特征在于，进一步具备：

第3梁，其包含第3下部电极、第3上部电极、设置在上述第3下部 电极与上述第3上部电极之间的第3压电膜，并且其从第2固定端延伸到 第3连接端，与上述第1梁并排地设置；

第2固定部，其连结上述第2固定端与上述基板，并且使上述第3梁 在上述基板的上述主面的上方空出间隙地支撑上述第3梁；

第4梁，其包含第4下部电极、第4上部电极、设置在上述第4下部 电极与上述第4上部电极之间的第4压电膜，并且其从第4连接端延伸到 第2作用端，与上述第3梁并排地设置在上述第3梁与上述第2梁之间， 具有由从上述第2作用端向着上述第4连接端延伸的第2缝隙分割而成的 第2分割部；

第2连接部，其连结上述第3连接端与上述第4连接端，并且使上述 第4梁在上述基板的上述主面的上方空出间隙地保持上述第4梁；

第2固定电极，其与上述第2分割部的、上述第2作用端侧的一部分 相对，并且设置在上述基板的上述主面上；以及

第3连接部，其连接上述第1分割部与上述第2分割部。