[发明专利]互补式金属传输线结构无效
申请号: | 200910002686.7 | 申请日: | 2009-01-19 |
公开(公告)号: | CN101783336A | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 庄晴光;蒋孟儒;吴宪顺 | 申请(专利权)人: | 庄晴光;益芯科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/522 | 分类号: | H01L23/522;H01P3/08 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 梁爱荣 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 互补 金属 传输线 结构 | ||
1.一种互补式金属传输线结构,其特征在于,包含:
一基板;
至少一第一网目金属层;
m层第二网目金属层,该m层第二网目金属层之间与该至少一第一网目金属层之间分别与m层第一介电层交错叠接,由此形成一堆叠结构于该基板之上,其中该m层第一介电层分别具有多个金属连接孔连接该至少一第一网目金属层与该m层第二网目金属层,其中m≥2且m为自然数;
一第二介电层,位于该堆叠结构之上;以及
一信号传输线,位于该第二介电层之上;
其中,该信号传输线正下方的该m层第二网目金属层具有至少一狭缝结构。
2.如权利要求1所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的至少一狭缝结构的面积包含:((P-Wh)/2)×t,其中P表该基板的单元尺寸,Wh表该m层第二网目金属层的网目尺寸,t表该至少一狭缝结构的狭缝尺寸。
3.如权利要求1所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的信号传输线包含直线形状。
4.如权利要求3所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的至少一狭缝结构包含2个狭缝结构。
5.如权利要求1所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的信号传输线包含L型形状。
6.如权利要求5所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的至少一狭缝结构包含2个狭缝结构。
7.如权利要求1所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的信号传输线包含T型形状。
8.如权利要求7所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的至少一狭缝结构包含3个狭缝结构。
9.如权利要求1所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的信号传输线包含十字型形状。
10.如权利要求9所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的至少一狭缝结构包含4个狭缝结构。
11.如权利要求1所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的至少一第一网目金属层位于该堆叠结构的底端。
12.如权利要求1所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的至少一第一网目金属层位于该堆叠结构的顶端。
13.如权利要求1所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,所述的至少一第一网目金属层位于该堆叠结构之间。
14.一种互补式金属传输线结构,其特征在于,包含:
一基板;
一第一网目金属层;
一第二网目金属层,其与该第一网目金属层之间叠接一第一介电层,由此形成一堆叠结构于该基板之上,其中该第一介电层具有多个金属连接孔连接该第一网目金属层与该第二网目金属层;
一第二介电层,位于该堆叠结构之上;以及
一信号传输线,位于该第二介电层之上;
其中,该信号传输线的正下方的该第二网目金属层具有至少一狭缝结构。
15.如权利要求14所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,该至少一狭缝结构的面积包含:((P-Wh)/2)×t,其中P表该基板的单元尺寸,Wh表该第二网目金属层的网目尺寸,t表该至少一狭缝结构的狭缝尺寸。
16.如权利要求14所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,该信号传输线包含直线形状。
17.如权利要求16所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,该至少一狭缝结构包含2个狭缝结构。
18.如权利要求14所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,该信号传输线包含L型形状。
19.如权利要求18所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,该至少一狭缝结构包含2个狭缝结构。
20.如权利要求14所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,该信号传输线包含T型形状。
21.如权利要求20所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,该多个狭缝结构包含3个狭缝结构。
22.如权利要求14所述的互补式金属传输线结构,其特征在于,该信号传输线包含十字型形状。
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