[发明专利]旋转机械用部件及其制造方法

权利要求书

1.一种旋转机械用部件，其特征在于，

在基材的表面上至少形成陶瓷硬质保护膜以及位于所述基材和所述 陶瓷硬质保护膜之间的中间层，

存在于所述陶瓷硬质保护膜表面的颗粒的密度为1000个/mm²以内， 且平均粒径为1μm以下的颗粒的密度在550个/mm²以内，

所述陶瓷硬质保护膜的膜厚比所述中间层的膜厚更厚，且所述陶瓷硬 质保护膜和所述中间层的合计膜厚在5μm以上且20μm以下的范围，

所述陶瓷硬质保护膜是使用成膜装置利用离子镀法形成的，其中所述 成膜装置具有真空容器、配置在真空容器内部且收容涂敷材料的坩锅、等 离子体枪、聚焦线圈、加热器，

所述离子镀法包括调整所述等离子体枪和所述聚焦线圈的输出，使所 述涂敷材料加热蒸发并离子化的工序，

通过将所述等离子体枪的电子线的输出除以所述涂敷材料的蒸发面 的面积得到的熔融功率设定为550W/cm²以上且980W/cm²以下来进行所 述等离子体枪的输出的调整，

通过将所述聚焦线圈的电磁输出除以所述聚焦线圈的表面积得到的 聚焦功率设定为80mW/cm²以上且150mW/cm²以下来进行所述聚焦线圈 的输出的调整。

2.如权利要求1所述的旋转机械用部件，其特征在于，

所述陶瓷硬质保护膜包括TiN、CrN、TiAlN、TiC、TiCN、ZrN中的 至少一种以上的材料。

3.如权利要求1所述的旋转机械用部件，其特征在于，

所述中间层包括Cr或Ti。

4.如权利要求1所述的旋转机械用部件，其特征在于，

所述中间层包括CrN或TiN。

5.如权利要求1所述的旋转机械用部件，其特征在于，

所述陶瓷硬质保护膜的膜厚在5μm以上且15μm以下的范围。

6.一种旋转机械用部件的制造方法，其是制造权利要求1所述的旋 转机械用部件的方法，在基材的表面上利用离子镀法形成陶瓷硬质保护 膜，其特征在于，

使用具有真空容器、配置在真空容器内部且收容涂敷材料的坩锅、等 离子体枪、聚焦线圈、加热器的成膜装置，

所述制造方法包括如下工序：

在所述真空容器内配置所述基材的工序；

利用所述加热器加热所述基材的工序；

调整所述等离子体枪和所述聚焦线圈的输出，使所述涂敷材料加热蒸 发并离子化的工序；以及

使所述涂敷材料蒸镀在所述基材表面上的工序，

其中，通过将所述等离子体枪的电子线的输出除以所述涂敷材料的蒸 发面的面积得到的熔融功率设定为550W/cm²以上且980W/cm²以下来进 行所述等离子体枪的输出的调整，

通过将所述聚焦线圈的电磁输出除以所述聚焦线圈的表面积得到的 聚焦功率设定为80mW/cm²以上且150mW/cm²以下来进行所述聚焦线圈 的输出的调整，

从而形成陶瓷硬质保护膜。