[发明专利]滤色器及其制造方法以及液晶显示装置

权利要求书

1.一种滤色器的制造方法，其具有：

黑矩阵形成工序，包括：通过使用感光性黑色组合物在基板上形成感 光性黑色组合物层、将所述感光性黑色组合物层曝光以及将曝光后的所述 感光性黑色组合物层显影来形成具有底切的黑矩阵图案，然后将所形成的 黑矩阵图案烘烤，其中，该底切的长度在黑矩阵宽度方向上为-2.0μm～ 5.0μm；

着色图案形成工序，包括：通过使用感光性着色组合物在烘烤后的形 成有黑矩阵的所述基板上形成感光性着色组合物层、将所述感光性着色组 合物层曝光、将曝光后的所述感光性着色组合物层显影以及将显影后的所 述感光性着色组合物层烘烤来形成着色图案，其中，该烘烤后的该着色图 案与所述黑矩阵相重叠的重叠部在黑矩阵宽度方向上的长度为2.0μm～ 9.0μm，

在所述基板上形成的所述感光性黑色组合物层的厚度为0.2μm～ 2.2μm，

所述感光性着色组合物层的层厚为1.8μm～2.8μm。

2.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其中，在所述黑矩阵形 成工序中的所述显影中，显影液的温度为20℃～30℃。

3.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其中，所述黑矩阵形 成工序中，在形成所述感光性黑色组合物层之后、所述曝光之前还包括预 烘烤。

4.根据权利要求3所述的滤色器的制造方法，其中，所述预烘烤中 的预烘烤温度为60℃～140℃。

5.根据权利要求3所述的滤色器的制造方法，其中，所述预烘烤中 的预烘烤时间为30秒～300秒。

6.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其中，在所述着色图 案形成工序中的所述曝光中，隔着掩模图案进行曝光，曝光图案与黑矩阵 的交叠部分在黑矩阵宽度方向上的长度为2.0μm～9.0μm。

7.根据权利要求6所述的滤色器的制造方法，其中，在所述着色图 案形成工序中的所述显影中，显影温度为20℃～35℃，显影时间为20秒～ 120秒。

8.根据权利要求6所述的滤色器的制造方法，其中，所述重叠部分 在黑矩阵宽度方向上的长度为2.0μm～8.0μm，所述显影温度为21℃～ 30℃，所述显影时间为25秒～80秒。

9.根据权利要求6所述的滤色器的制造方法，其中，所述重叠部分 在黑矩阵宽度方向上的长度为2.0μm～7.0μm，所述显影温度为22℃～ 26℃，所述显影时间为35秒～75秒。

10.一种滤色器，其是用权利要求1～9中任一项所述的滤色器的制造 方法制造的滤色器，具有黑矩阵与着色图案相重叠的重叠部，所述重叠部 在黑矩阵宽度方向的长度为2.0μm～9.0μm，

在所述着色图案的表面，所述重叠部距离基板表面最远的部分与所述 重叠部以外的部分之间在基板法线方向上的距离为0.50μm以下。

11.一种液晶显示装置，其具有权利要求10所述的滤色器。