[发明专利]具耦合型与多向性的软性应力传感装置

权利要求书

1.一种应力传感装置，包括：

一基板；

一支撑层，设置在该基板上；

一薄膜基材，由该支撑层所支撑；

多个薄膜传感部，由该薄膜基材延伸而出；

多个传感电极，对应设置在所述薄膜传感部上；

多个传感块，对应设置在所述传感电极上；

多个凸块物，对应连结在所述薄膜传感部的顶端；及

一填充物，包覆该支撑层、该薄膜基材、所述薄膜传感部、所述传感电 极、以及所述传感块。

2.根据权利要求1所述的应力传感装置，其中所述薄膜传感部以成对方 式设置。

3.根据权利要求1所述的应力传感装置，其中所述薄膜传感部为翘曲弧 状。

4.根据权利要求3所述的应力传感装置，其还包括一支撑块，设置在该 基板上，并且同时支撑所述薄膜传感部。

5.根据权利要求4所述的应力传感装置，其中该支撑块为半球状。

6.根据权利要求1所述的应力传感装置，其中所述传感块的材料为一电 阻材料、一压阻材料、一压电材料、一电感材料、一电磁材料或一热电材料。

7.根据权利要求1所述的应力传感装置，其中所述凸块物为半球状。

8.根据权利要求4所述的应力传感装置，其中所述填充物与支撑块为相 同的高分子材料。