[发明专利]金属栅极电极及其制作方法无效
| 申请号： | 200910003572.4 | 申请日： | 2009-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN101488520A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | V·S·巴斯克尔;H·迪利吉安尼;R·杰米;V·K·帕鲁丘里;L·T·罗曼基乌 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L29/49 | 分类号： | H01L29/49;H01L21/288;H01L21/28;C25D3/56 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 美国纽*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 栅极 电极 及其 制作方法 | ||
1.一种金属栅极电极，包括从Re、Ru、Pt、Rh及其组合中选择的金属和从Ni、Y、Ti、Ta、W、C、Al及其组合中选择的合金化合物。
2.根据权利要求1所述的金属栅极电极，具有大于或者等于所述金属或者金属组合的功函数，其中通过以下公式来计算所述功函数：
其中：
VFB是所述金属的平带电压；
kT是0.0259eV；
ni＝1.45×1010；
以及Na是硅衬底的掺杂密度。
3.根据权利要求1所述的金属栅极电极，其中所述合金化合物的存在重量为约0.1％至约10％。
4.根据权利要求1所述的金属栅极电极，其中所述合金化合物是重量浓度为从约4％至约9％的W。
5.根据权利要求1所述的金属栅极电极，其中所述合金化合物是重量浓度为从约0.1％至约2.5％的Ni。
6.根据权利要求1所述的金属栅极电极，其中所述合金化合物是重量浓度为从约2％至约6.5％的C。
7.一种用于将金属和合金化合物电化学沉积到衬底上的电解液，包括强酸和从Re、Ru、Pt、Rh及其组合中选择的金属或者金属盐以及从Ni、Y、Ti、Ta、W、C、Al及其组合中选择的合金化合物，其中所述合金化合物具有约1g/L至约500g/L的合金化合物电解液浓度。
8.根据权利要求7所述的电解液，其中所述合金化合物是电解液浓度为从约1g/L至约50g/L的W。
9.根据权利要求8所述的电解液，其中所述电解液还包括从约1g/L至约50g/L的柠檬酸钠。
10.根据权利要求7所述的电解液，其中所述合金化合物是电解液浓度为从约1g/L至约50g/L的Ni。
11.根据权利要求7所述的电解液，其中所述合金化合物是柠檬酸钠的电解液浓度为从约5g/L至约500g/L的C。
12.一种制作稳定的金属栅极电极的方法，包括以下步骤：
形成金属栅极电极图案，所述金属栅极电极图案包括从Re、Ru、Pt、Rh及其组合中选择的金属和从Ni、Y、Ti、Ta、W、C、Al及其组合中选择的合金化合物；以及
使所述金属栅极电极图案经受合成气体退火。
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