[发明专利]位移检测装置及具有该位移检测装置的光学仪器

权利要求书

1.一种位移检测装置，包括：

被配置成将光投射到待检物体的光源，所述光源能相对于待检物体移动；

第一反射元件，被固定到待检物体，并且包括非反射部分以及被配置成反射来自所述光源的光的反射部分；

第一光接收元件，被配置成接收由所述第一反射元件反射的光；

第二反射元件，被固定到待检物体，并且包括非反射部分以及被配置成反射来自所述光源的光的反射部分；以及

第二光接收元件，被配置成接收由所述第二反射元件反射的光；

其中所述第二反射元件被设置在来自所述光源并经由所述第一反射元件行进的光的至少一部分被导引到所述第二光接收元件所通过的光路上。

2.根据权利要求1所述的位移检测装置，还包括设置在所述第一反射元件的远离所述第一和第二光接收元件的一侧的杂散光防止部件，所述杂散光防止部件具有被配置成将透过所述第一反射元件的非反射部分的光反射到与朝着所述第一光接收元件的方向不同的方向的反射表面，其中所述第二反射元件被设置在如下光路上，即，沿着该光路，来自所述光源的、透过所述第一反射元件的非反射部分并然后被所述杂散光防止部件反射的光的至少一部分被导引到所述第二光接收元件。

3.根据权利要求2所述的位移检测装置，其中所述杂散光防止部件被处理成减小对透过所述第一反射元件的非反射部分的光的反射率。

4.根据权利要求3所述的位移检测装置，其中所述处理包括使用抗反射涂料。

5.根据权利要求3所述的位移检测装置，其中所述处理包括使用氧化膜。

6.根据权利要求1所述的位移检测装置，其中利用由所述第一光接收元件接收到的光来检测待检物体的相对位移，并且利用由所述第二光接收元件接收到的光来检测待检物体的绝对位移。

7.一种光学仪器，包括：

作为待检物体的光学部件；和

根据权利要求1-6中的任一项所述并且被配置成检测光学部件的位移的位移检测装置。

8.一种位移检测装置，包括：

被配置成将光投射到待检物体的光源，所述光源能相对于待检物体移动；

第一反射元件，被固定到待检物体，并且包括非反射部分以及被配置成反射来自所述光源的光的反射部分；

第一光接收元件，被配置成接收由所述第一反射元件反射的光；

第二反射元件，被固定到待检物体，并且包括非反射部分以及被配置成反射来自所述光源的光的反射部分；

第二光接收元件，被配置成接收由所述第二反射元件反射的光；以及

被配置成在其中容纳并保持所述光源、所述第一反射元件、所述第一光接收元件、所述第二反射元件以及所述第二光接收元件的壳体，所述壳体具有内壁，该内壁包括被配置成当透过所述第一反射元件的非反射部分的光入射在所述内壁上时减少从其被导向所述第二光接收元件的光的部分。

9.根据权利要求8所述的位移检测装置，其中由所述内壁所包括的所述部分包括光阻挡槽。

10.根据权利要求8所述的位移检测装置，其中由所述内壁所包括的所述部分包括形成在所述内壁上的光阻挡部件。

11.根据权利要求8所述的位移检测装置，其中由所述内壁所包括的所述部分包括形成在所述内壁上的反射表面。

12.根据权利要求8所述的位移检测装置，其中利用由所述第一光接收元件接收到的光来检测待检物体的相对位移，并且利用由所述第二光接收元件接收到的光来检测待检物体的绝对位移。

13.一种光学仪器，包括：

作为待检物体的光学部件；和

根据权利要求8-12中的任一项所述并且被配置成检测光学部件的位移的位移检测装置。