[发明专利]流动控制方法有效
| 申请号： | 200910004595.7 | 申请日： | 2003-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN101491889A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | M·G·惠勒 | 申请（专利权）人： | 美国艾默生电气公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B29/02;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 彭 武;杨松龄 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 流动 控制 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于控制到CMP工具的浆液流的方法，包括：
提供预先装有浆液的一次性袋；
使该一次性袋定位为与浆液出口流体连通；
将CMP工具连接到所述浆液出口；和
压陷该一次性袋，以便将浆液以所希望的流率从该一次性袋排出到该CMP工具。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该一次性袋和可动部件位于刚性容器中，并且压陷该一次性袋包括：在第一方向上移动该可动部件以压陷该一次性袋。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，该一次性袋位于刚性容器中，并且压陷该一次性袋包括：将工作流体泵送入该刚性容器中以压陷该一次性袋。
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