[发明专利]基板输送装置

权利要求书

1.一种基板输送装置，包括：

用于输送基板的第一输送单元；

与所述第一输送单元的一端间隔开的第二输送单元；

第三输送单元，其设置在所述第一输送单元及所述第二输送单元 之间，并且提供能够在基板输送期间回收附着在基板上的显影液的倾 斜输送；及

用于控制所述第三输送单元的倾斜输送角度及连接状态的输送控 制器，

其中所述第三输送单元包括第一及第二可调输送单元，所述第一 及第二可调输送单元的每一个都设置为具有多个输送辊的辊式传送机 类型的形式并且具有在所述第一及第二输送单元之间铰合的一端，所 述第一及第二可调输送单元配置为，在绕各自的铰合点枢转时分别提 供向上倾斜或向上和向下倾斜的可调输送区域。

2.如权利要求1所述的基板输送装置，其中所述第一输送单元设 置为具有多个输送辊的辊式传送机类型的形式，且配置为将所述基板 从在其内显影液被供给至所述基板的箱体单元的第一内侧输送至所述 箱体的第二内侧。

3.如权利要求1所述的基板输送装置，其中所述第二输送单元设 置为具有多个输送辊的辊式传送机类型的形式，且配置为将所述基板 从在其内清洁液被供给至所述基板的箱体单元的第一内侧输送至所述 箱体的第二内侧。

4.如权利要求1至3中任一项所述的基板输送装置，其中所述第 一及第二输送单元具有各自的输送区域，各自的输送区域具有相同水 平高度或不同水平高度。

5.如权利要求1至3中任一项所述的基板输送装置，其中所述第 二输送单元具有比所述第一输送单元的输送区域高的输送区域。

6.如权利要求1所述的基板输送装置，其中所述输送控制器包括：

产生动力的驱动源；及

推臂，其支撑所述第三输送单元的下部以便在受到驱动源的作用 而上下运动时能够推动所述第三输送单元的下部。

7.如权利要求6所述的基板输送装置，其中所述驱动源选自由电 动机、气缸及步进电动机组成的集合。

8.如权利要求6所述的基板输送装置，其中所述推臂配置为，当 驱动源被驱动时通过经由凸轮运动、连杆运动或螺杆联结而接收的动 力而上下运动。

9.如权利要求6至8中任一项所述的基板输送装置，其中所述推 臂包括与所述第三输送单元对应的两个支撑端和与驱动源对应的连接 端，并且

推臂的配置使得当驱动源被驱动时，通过在向前及向后运动的凸 轮的倾斜凸轮表面上的连接端的凸轮运动，所述的两个支撑端单独地 或共同地上下运动。

10.如权利要求6至8中任一项所述的基板输送装置，其中所述 推臂包括与所述第三输送单元对应的两个支撑端和与驱动源对应的连 接端；并且

推臂配置为，当驱动源被驱动时，通过以预设角度枢转的链条经 由连接端的连杆运动而能够单独地或共同地上下运动。

11.如权利要求6至8中任一项所述的基板输送装置，其中所述 推臂包括与所述第三输送单元对应的两个支撑端和与驱动源对应的连 接端，以及

螺杆的一端被连接以能够绕驱动源的轴旋转且穿过一侧，并且所 述两个支撑端配置为能够通过螺杆联结及螺杆的正向/反向旋转而单独 地和共同地上下运动。

12.如权利要求1至6中任一项所述的基板输送装置，其中所述

输送控制器设计为，在通过推动操作而枢转第三输送单元时控制所述 第三输送单元的倾斜角度及连接状态。

13.如权利要求1所述的基板输送装置，进一步包括用于引导基 板的输送的输送引导构件，其中所述输送引导构件为橡胶带或橡胶环 这两者中的一个，并且安装为使由所述第一、第二及第三输送单元所 限定的整个输送区域中的一些区域相互连接。