[发明专利]加速度传感器装置

权利要求书

1.一种加速度传感器装置，其特征在于，包括：

加速度传感器芯片，具有锤部、在所述锤部的周围与该锤部具有间 隔地配置的底座部、挠性连接所述锤部和所述底座部的多个梁部；以及

限位板，设置在所述加速度传感器芯片上，以限制所述锤部的变位；

所述限位板在与所述梁部相对的位置具有凹部。

2.一种加速度传感器装置，其特征在于，包括：

加速度传感器芯片，具有锤部、在所述锤部的周围与该锤部具有间 隔地配置的底座部、挠性连接所述锤部和所述底座部的梁部；以及

限位板，设置在所述加速度传感器芯片上；

所述限位板具有：

多个固定部，突出设置在与所述底座部相对的位置，被固定在所述 底座部上；

第一凹部，分别形成在各所述固定部的周边，且是形成在与所述锤 部相对的位置，限制所述锤部的变位；以及

第二凹部，形成在与所述梁部相对的位置，比所述第一凹部深。

3.根据权利要求2所述的加速度传感器装置，其特征在于：

在所述多个固定部的与所述底座部相对的面上，分别形成有在同一 方向延伸的用于填充粘合剂的多个第一狭缝，形成于所述多个固定部的 所述第一狭缝彼此在同一方向延伸。

4.根据权利要求3所述的加速度传感器装置，其特征在于：

在所述多个固定部的与所述底座部相对的面上，在大致垂直于所述 多个第一狭缝的方向，还分别形成有用于防止粘合剂溢出的第二狭缝。

5.根据权利要求2～4中任意一项所述的加速度传感器装置，其特 征在于：

所述第一凹部和所述第二凹部的边界，在所述限位板的大致中央部 分为曲面形状。

6.根据权利要求2～4中任意一项所述的加速度传感器装置，其特 征在于：

所述梁部是相对于所述底座部，从大致正交的4个部位可自由摆动 地支撑所述锤部的构造；

所述多个固定部突出设置在所述限位板上，且是设置在与所述底座 部的4角附近相对的位置。

7.根据权利要求5所述的加速度传感器装置，其特征在于：

所述梁部是相对于所述底座部，从大致正交的4个部位可自由摆动 地支撑所述锤部的构造；

所述多个固定部突出设置在所述限位板上，且是设置在与所述底座 部的4角附近相对的位置。

8.根据权利要求6所述的加速度传感器装置，其特征在于：

所述第二凹部形成为大致十字形，在所述限位板上，在与所述梁部 相对的位置，该十字形具有规定宽度；

所述十字形和所述第一凹部的边界的一部分通过所述锤部的一部 分，并且为以各所述固定部为中心的曲面形状。

9.根据权利要求7所述的加速度传感器装置，其特征在于：

所述第二凹部形成为大致十字形，在所述限位板上，在与所述梁部 相对的位置，该十字形具有规定宽度；

所述十字形和所述第一凹部的边界的一部分通过所述锤部的一部 分，并且为以各所述固定部为中心的曲面形状。

10.一种加速度传感器装置，其特征在于，包括：

加速度传感器芯片，具有锤部、在所述锤部的周围与该锤部具有间 隔地配置的底座部、挠性连接所述锤部和所述底座部的梁部；

限位板，设置在所述加速度传感器芯片上；

所述限位板具有：

固定部，与所述锤部具有规定间隔地固定在所述底座部上，限制所 述锤部的变位；以及

凹部，形成在所述固定部的与所述梁部相对的位置。

11.根据权利要求10所述的加速度传感器装置，其特征在于：

在所述固定部的与所述底座部相对的部位形成有在同一方向延伸 的用于填充粘合剂的多个第一狭缝。