[发明专利]一种分离显影液废液与DI水的分离装置及分离方法

权利要求书

1.一种分离显影液废液与DI水的分离装置，其特征在于该装置包含：

一个自动阻尼器，该自动阻尼器与系统中的显影液废液管道和DI水 管道相连；

一个液体隔离装置，该液体隔离装置位于上述阻尼器下方，用于接收 从上述自动阻尼器流下的液体；且该液体隔离装置具有第一隔间和第二隔 间；

第一排放管道，该第一排放管道位于上述第一隔间下方，且与上述第 一隔间连通；

第二排放管道，该第二排放管道位于上述第二隔间下方，且与上述第 二隔间连通。

2.根据权利要求1所述的分离装置，其特征在于在上述自动阻尼器 可以根据系统的工作状态进行旋转，将其下端分别指向上述第一隔间或第 二隔间。

3.根据权利要求2所述的分离装置，其特征在于上述自动阻尼器的 旋转角度是45～135度。

4.根据权利要求3所述的分离装置，其特征在于上述自动阻尼器的 旋转角度是90度。

5.一种利用权利要求1所述分离装置的分离方法，其特征在于

当光阻显影系统处于第一工作状态时，上述分离装置中的自动阻尼器 的下端指向上述第一隔间，并通过第一隔间下端的第一排放管道将第一废 液排出；

当光阻显影系统处于第二工作状态时，上述分离装置中的自动阻尼器 的下端指向上述第二隔间，并通过第二隔间下端的第二排放管道将第二废 液排出；

其中所述第一工作状态指尚未用DI水进行清洗，只是用显影液进行 喷涂；所述第二工作状态指利用DI水进行冲洗。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于光阻显影系统由控制信 号控制进入第二工作状态，该控制信号同步控制上述自动阻尼器，使其下 端指向上述第二隔间。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于上述第一废液是显影液 废液；上述第二废液是DI水。