[发明专利]流量传感器及应用此流量传感器的质量流量控制装置

权利要求书

1.一种流量传感器，其将流体以特定的分流比分流至旁通流路和由 形成桥式电路一部分的发热电阻丝绕制成的传感器流路，将通过流体流 经上述传感器流路而产生的热移动作为上述桥式电路的不平衡来捕捉， 以此求出上述流体的整体流量作为传感器输出，该流量传感器的特征在 于，

上述旁通流路由多条细流路构成，各条细流路之截面由大体呈直线 状的一条边和与该条边相切的曲线形成，上述细流路的等效水力直径d 与上述细流路的长度T的常用对数之比在0.27以下，

上述曲线具有正弦波形、连续地连接半圆形的波形、连续地连接二 维曲线的一部分而形成的波形及连续地连接三维曲线的一部分而形成的 波形中的任意一种形状。

2.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，上述旁通流路 将平板和波形板卷绕起来构成上述细流路，上述波形板大体呈正弦波形。

3.一种质量流量控制装置，其具有权利要求1或2所述的流量传感 器。