[发明专利]双折射测定方法、装置以及程序

权利要求书

1.一种双折射测定方法，其使用光源、偏振元件、相位元件、 透射轴方位以固定的旋转角度进行变化的旋转检偏元件、以及感光 器，在所述相位元件和所述旋转检偏元件之间插入测定对象，求出所 述测定对象的延迟量，

其特征在于，具有：

第1光检测步骤，其在将所述偏振元件的透射轴固定在第1透 射轴方位的状态下，使来自所述光源的光，经由所述偏振元件、所述 相位元件、所述测定对象、以及所述旋转检偏元件，由所述感光器进 行检测；

第1光强度数据生成步骤，其在所述第1光检测步骤后，将所 述旋转检偏元件的透射轴方位和该透射轴方位时由所述感光器检测 出的光的强度相关联而生成第1光强度数据；

透射轴方位变更步骤，其将所述偏振元件的透射轴从所述第1 透射轴方位变更为与所述第1透射轴方位不同的第2透射轴方位；

第2光检测步骤，其在将所述偏振元件的透射轴固定在所述第2 透射轴方位的状态下，进行与所述第1光检测步骤相同的步骤；

第2光强度数据生成步骤，其在所述第2光检测步骤后，进行 与所述第1光强度数据生成步骤相同的步骤，生成第2光强度数据；

主轴方位计算步骤，其基于所述第1或者第2光强度数据，求 出所述测定对象的主轴方位；

延迟量计算步骤，其基于所述测定对象的主轴方位、所述第1 光强度数据、以及所述第2光强度数据，求出所述测定对象的延迟量；

第1测定前光强度数据生成步骤，其在所述第1光检测步骤之 前，在去除所述测定对象的状态下，进行与所述第1光检测步骤以及 第1光强度数据生成步骤相同的步骤，生成第1测定前光强度数据；

第1斯托克斯参数计算步骤，其基于所述第1测定前光强度数 据，求出第1斯托克斯参数，该第1斯托克斯参数表示入射至所述测 定对象之前的光的偏振状态；

第2测定前光强度数据生成步骤，其在所述第2光检测步骤之 前，在去除所述测定对象的状态下，进行与所述第2光检测步骤以及 第2光强度数据生成步骤相同的步骤，生成第2测定前光强度数据； 以及

第2斯托克斯参数计算步骤，其基于所述第2测定前光强度数 据，求出第2斯托克斯参数，该第2斯托克斯参数表示入射至所述测 定对象之前的光的偏振状态，

在所述主轴方位计算步骤中，在所述第1或者第2光强度数据 的基础上，根据所述第1或者第2斯托克斯参数，求出所述测定对象 的主轴方位，

在所述延迟量计算步骤中，在所述测定对象的主轴方位、所述 第1光强度数据、以及第2光强度数据的基础上，根据所述第1以及 第2斯托克斯参数，求出所述测定对象的延迟量。

2.根据权利要求1所述的双折射测定方法，其特征在于，

所述延迟量计算步骤包含：

第1延迟量候选值确定步骤，其基于根据所述第1斯托克斯参 数、所述第1光强度数据、以及所述测定对象的主轴方位得到的第1 观测值，确定所述测定对象的多个第1延迟量候选值；

第2延迟量候选值确定步骤，其基于根据所述第2斯托克斯参 数、所述第2光强度数据、以及所述测定对象的主轴方位得到的第2 观测值，确定所述测定对象的多个第2延迟量候选值；以及

延迟量确定步骤，其从多个所述第1以及第2延迟量候选值中， 将值相同或者大致相同的延迟量候选值确定为所述测定对象的延迟 量，

将所述第1观测值和所述第1延迟量候选值之间的关系、以及 所述第2观测值和所述第2延迟量候选值之间的关系以正弦函数表 示，根据所述第1观测值和所述第1延迟量候选值之间的关系而得到 的正弦曲线，与根据所述第2观测值和所述第2延迟量候选值而得到 的正弦曲线相差规定的相位。