[发明专利]超声波振动装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种具有振子的超声波振动装置，该振子具有 沿着振动方向交替排列的多个振动元件和多个电极部，多个同 极的电极部借助桥接部依次连结起来而进行电连接。

背景技术

在日本特开平4-156983号公报、美国专利第6278218号 说明书或美国专利第5989275号说明书中公开了螺栓紧固朗之 万(Langevin)型振子。在螺栓紧固朗之万型振子中，压电元 件与电极板沿着纵向交替排列。电极板具有沿着纵向交替配置 的负电极板和正电极板。同极的多个电极板借助桥接部依次连 结起来，而进行电连接。通过对负电极板和正电极板施加驱动 电压，对压电元件施加驱动电压而产生超声波振动，使整个振 子沿着纵向产生超声波振动。

当振子产生超声波振动时，桥接部也会沿着纵向产生超声 波振动。在此，当桥接部沿着纵向以外的方向产生超声波振动 时，桥接部容易变疲劳，有可能断裂。

发明内容

本发明是着眼于上述课题而做成的，其目的在于提供一种 防止桥接部断裂的超声波振动装置。

在本发明的一实施方式中，超声波振动装置具有振子，其 特征在于，上述振子具有：至少2个振动元件、至少3个电极部 以及桥接部，该至少2个振动元件被施加驱动电压而产生超声 波振动，上述至少3个电极部包括沿着振动方向交替配置的至 少2个第1电极部和至少1个第2电极部，上述电极部和上述振动 元件沿振动方向交替排列，通过对上述第1电极部和上述第2电 极部施加驱动电压来使上述振子沿着上述振动方向一体地进行 超声波振动；上述桥接部使上述至少2个第1电极部中的2个第1 电极部相互连结而进行电连接；上述超声波振动装置还具有用 于抑制上述桥接部向上述振动方向以外的方向进行振动的防振 部。

在本实施方式中，利用防振部来抑制桥接部向振子的振动 方向以外的方向进行振动，由此可防止桥接部断裂。

在本发明最佳的一实施方式中，超声波振动装置的特征在 于，上述桥接部由柔软的挠性基板形成。

在本实施方式中，桥接部由柔软的挠性基板形成，由此可 防止桥接部发生断裂。

在本发明最佳的一实施方式中，超声波振动装置的特征在 于，其具有至少3个上述第1电极部、至少2个上述第2电极部、 以及用于将上述至少3个第1电极部依次连结起来的至少2个上 述桥接部，上述至少2个桥接部中的电压供给侧的规定桥接部 的疲劳强度小于比该桥接部更靠电压被供给侧的桥接部的疲劳 强度。

在本实施方式中，电压供给侧的桥接部的疲劳强度小于电 压被供给侧的桥接部的疲劳强度，由此使电压供给侧的桥接部 先于电压被供给侧的桥接部断裂。因此，在桥接部断裂的情况 下，使由振动元件、电极部以及桥接部形成的振动部的静电容 量发生较大的变化，系统的耦合可靠地丧失，并使系统可靠地 停止。因此，能够防止振子在不良的振动状态下继续振动。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的超声波处理装置的立 体图。

图2是表示本发明的第1实施方式的振子的局部剖侧视图。

图3是表示本发明的第1实施方式的振动发生部的分解立 体图。

图4是表示本发明的第2实施方式的振子的侧视图。

图5是表示本发明的第3实施方式的振子的局部剖侧视图。

图6是表示本发明的第4实施方式的振子的局部剖侧视图。

图7是表示本发明的第5实施方式的振动发生部的剖视图。

图8是表示本发明的第6实施方式的电极构件的展开图。

图9是表示本发明的第7实施方式的振子的侧视图。

图10是表示本发明的参考实施方式的振子的侧视图。

图11是表示本发明的参考实施方式的电极构件的展开图。

图12是表示本发明的参考实施方式的电极构件的侧视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的各实施方式进行说明。

图1至图3表示本发明的第1实施方式。

参照图1，对超声波处理装置的概略结构进行说明。