[发明专利]旋涂装置

说明书

本申请是欧利生电气株式会社于2004年12月16日提交的名称为“旋涂装置”、申请号为200480038730.5的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及用于在各种盘上涂敷液体的旋涂装置。

背景技术

例如在CD-R、DVD-R、DVD+R等追记型光盘的制造工序中，通过利用旋涂装置使盘基板按照规定的旋转模式进行旋转，并通过由离心力使记录材料的溶液在盘基板整个面上展开而使剩余的溶液被甩掉，从而形成均匀厚度的记录层。

为了涂敷一片盘基板而供给的溶液的量通常是0.1～2ml左右。其中被涂敷在盘基板上的即实际形成记录膜所使用的溶液小于或等于50％。除此之外的溶液或记录材料则通过涂料器杯、回收用排放口而被回收到回收容器中。

形成记录层的旋涂装置与形成光盘保护膜用的或形成半导体的光敏抗蚀剂用的旋涂装置不同，它所涂敷的溶液的大部分由溶剂和溶解在该溶剂中的色素材料构成。例如通常的记录材料溶液多数情况下是将酞花青色素、花青色素、偶氮色素等溶解在有机溶剂中的有机色素溶液。因此，由于溶剂在短时间内蒸发而使色素材料成为固体状态或粘糊糊的粘性高的状态，所以为了将记录材料溶液有效地回收而必须采取措施。

在旋涂中被甩掉的剩余有机色素溶液的色素材料粘着在涂料器罩的内壁上并生长。当之后被甩掉的剩余有机色素溶液碰撞到该粘着的色素材料上时，则被弹回的剩余有机色素溶液有时会再附着在盘基板上，因此导致成品率降低。

在将积存在涂料器杯内的记录材料溶液通过排放口收集到回收容器的机构中，如果不极力地缩短排放通路，则记录材料会在中途凝固。于是，由于排放通路就逐渐变细而难于流通，因此溶液的回收作业变得困难。此外，虽然在旋涂装置上设置有防止溶液的雾沫蔓延到盘基板的背侧或旋转台的背侧的整流部件，但有时也会出现记录材料粘着在该整流部件上或者记录材料粘着在内杯与涂料器罩的抵接部位上。

为了解决记录材料粘着在装置各部分上的不良问题，在特开平9-27146号公报和特开2003-6948号公报中提出了设置冲洗装置而定期地对装置内部进行冲洗的装置以及将记录材料溶液通过排放口回收的装置。

然而，即使进行这样的冲洗，也无法完全防止记录材料的附着或堆积，仍然存在附着的记录材料的除去麻烦而旋涂装置停止的时间长的问题。

特别是CD-R、DVD-R、DVD+R等追记型光盘的制造装置多是具备4个或4个以上的涂料器杯，所以它们的维修保养所需要的时间相当长，因而在提高旋涂装置的使用效率上成为障碍。

发明内容

本发明的旋涂装置，其特征在于，包括：旋转台，其保持盘基板；旋转机构，其使该旋转台旋转；涂料器罩，其配置成将所述旋转台包围并挡住从被保持在所述旋转台上的盘基板甩掉的液体；内杯，其挡住并保持沿着所述涂料器罩滴落的液体；涂料器杯，其支承该内杯，其中，所述内杯能够从所述涂料器杯上卸下。根据该装置，能够将收集液体的内杯简单地卸下来进行更换或冲洗，从而能够提高旋涂装置的运转效率。

该装置也可以包括为了防止液体蔓延到所述旋转台或所述盘基板的下侧而配置在所述旋转台周围的整流部件。所述整流部件包括相对于所述内杯相对固定的内侧固定部分和设置成能够由该内侧部分装卸的外侧装卸部分，所述外侧装卸部分具有比所述旋转台的直径大的内径。根据该装置，由于在能够利用整流部件防止液体蔓延到旋转台或盘基板的下侧的基础上，通过将外侧装卸部分从整流部件的内侧固定部分上卸下而能够容易地将内杯卸下，所以也不妨碍维修保养性能。

所述涂料器罩也可以具有朝向所述内杯内并向下方突出的环状裙部。这时，能够使附着在涂料器罩上的液体从裙部可靠地落入内杯。

该装置还可以具有将液体向盘基板供给的液体供给机构。此时，也可以在所述涂料器罩上形成至少一个空中注射用孔，该空中注射用孔，在所述液体供给机构为了防止液体的堵塞而将液体空中注射时，用于使该被空中注射的液体流向所述内杯内。这时，能够用内杯将被空中注射的液体回收而不需要其它的回收机构。

该装置也可以是，还具有将液体向盘基板供给的液体供给机构，在所述涂料器罩上形成至少一个空中注射用孔，该空中注射用孔，在所述液体供给机构为了防止液体的堵塞而将液体空中注射时，用于使该被空中注射的液体流向所述内杯内，所述空中注射用孔的下端的出口在所述裙部的外侧开口。这时，不仅能够用内杯回收被空中注射的液体，而且能够抑制液体的雾沫粘着在空中注射用孔的出口。