[发明专利]热式流量传感器

权利要求书

1.一种热式流量传感器，包括：

传感器元件单元，包含桥电路，该桥电路通过并联连接第一串联电路 和第二串联电路后构成，所述第一串联电路由第一发热电阻体及第一感温 电阻体串联连接构成，所述第二串联电路由第二感温电阻体、第三感温电 阻体及平衡调整用电阻串联连接构成，传感器元件单元还包括第二发热电 阻体，其与所述桥电路并联连接，并且多个所述发热电阻体、多个所述感 温电阻体及所述平衡调整用电阻在半导体基板上由连线连接，所述发热电 阻体、所述感温电阻体及所述平衡调整用电阻由具有温度依赖性的材料构 成；

驱动电路单元，将所述平衡调整用电阻的两端电压从形成在基板上的 铝电极取出到所述半导体基板的外部，在所述两端电压的范围内进行所述 桥电路的平衡调整，

所述驱动电路单元具有：

2个缓冲器，检测平衡调整用电阻的两端电压；

多级串联电阻，与取出的所述两端电压的信号电连接；

开关，与所述多级串联电阻电连接且由多个开关元件构成，用于可变 调整所述多级串联电阻的分压比；

开关控制电路，向所述开关发送电信号，对所述多个开关元件进行开 闭控制；和

差动放大电路，介由晶体管对流过桥电路的电流进行反馈控制，

通过所述开闭控制来对所述多个开关元件进行选择，从而由所述多级 串联电阻的分压比来调整所述平衡调整用电阻的两端电压，

所述平衡调整用电阻形成在所述第二感温电阻体与所述第三感温电 阻体之间，

将所述调整后的两端电压和所述第一串联电路产生的中间电压输入 差动放大电路，介由晶体管根据所述调整后的两端电压与所述中间电压之 差来控制流经所述发热电阻体的电流。

2.根据权利要求1所述的热式流量传感器，其特征在于，

在所述取出的两端电压与所述多级串联电阻之间的信号线上设置缓 冲器。