[发明专利]真空气密容器的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及真空气密容器的制造方法。更具体地，本发明涉及用于平板(flat panel)图像显示装置中的真空气密容器的制造方法。

背景技术

近年来，要用于图像显示装置中的屏幕的尺寸变得更大。常规上，虽然CRT(阴极射线管)是图像显示装置的主流，但是存在CRT尺寸大且重量重的问题。因此，轻且薄的平板图像显示装置(以下称为FPD(平板显示器))已受到关注。

关于这一点，已开发了高的亮度和对比度的、具有宽的视场角、并可应对更宽屏幕和更高清晰度的需求的FPD。

在近年已得到积极研究和开发的各种类型的FPD中，存在LCD(液晶显示器)。另外，已开发了PDP(等离子显示板)和有机EL(电致发光)板等。

FPD的发光原理与CRT的是不同的。但是，在另一前沿，已开发了如CRT那样通过使用电子束使荧光构件发光的FPD。

这里，应当注意，这种类型的FPD包含FED(场发射显示器)，该FED是使用冷阴极而不是热阴极作为电子源通过电场发射电子的类型的显示器。此外，作为一种FED，存在在玻璃基板上以矩阵布置SCE(表面传导电子发射器)的显示器。称为SED(表面传导电子发射器显示器)的这种类型的显示器是由本申请的申请人提出的{例如，参见日本专利申请公开No.S64-031332(以下称为文献1)和日本专利申请公开No.H07-326311(以下称为文献2)}。

由于FED和SED中的每一个使用电子束，因此必须如CRT那样在容器内维持高真空。即，真空的劣化(即压力的升高)影响图像质量和电子源的寿命。

为了获得良好地维持其真空的真空容器，在常规上使用在将容器排气(exhaust)时加热容器的内部并在释放吸附到容器内表面上的气体之后密封容器的方法(以下，该加热处理(process)称为“烘烤(baking)处理”)。并且，为了在密封之后维持容器的真空，在常规上使用在容器内设置称为吸气剂(getter)的金属薄膜并通过使用吸气剂的气体吸附作用将容器排气的方法。

吸气剂大致被分为两种，即，蒸发性吸气剂和不可蒸发性(non-evaporable)吸气剂(以下称为NEG)。

在以Ba为代表的蒸发性吸气剂中，在真空中被蒸发到容器的内表面的金属膜按原样被用作泵。

蒸发性吸气剂的特征在于，可以在蒸发处理之后立即发挥泵功能。另一方面，由于吸气剂膜一旦被蒸发就不能暴露于大气中，因此从蒸发处理到密封处理的过程必须始终在真空中执行。并且，在蒸发性吸气剂中，对于蒸发处理一般必需有烘烤处理中的热以外的某种或其它能量手段(通电电源(power conducting source)或高频电源等)。

另一方面，在NEG中，通过蒸发或溅射等在容器的内表面上形成诸如Ti、Zr或V的金属或者主要由Ti、Zr和V构成的合金。这里，NEG的特征在于，能够在其形成之后暴露于大气中。但是，NEG一旦暴露于大气中就不能发挥作为泵的性能。出于这个原因，必须在真空中加热NEG，以获得等于或高于NEG发挥吸附性能的温度的温度。NEG可通过这种加热处理首先发挥作为泵的性能。

对于NEG的以上加热处理被称为“活化(activate)”。如果使用诸如通电电源或高频电源等的能量手段作为用于活化NEG的加热手段，那么可以在任意的定时选择性地执行活化。并且，如果活化温度等于或低于烘烤温度，那么可通过烘烤处理中的热来活化NEG。如果可通过烘烤处理中的热来活化NEG，那么可以省略用于活化NEG的特定手段和处理。因此，从生产节拍(tact)和成本的方面看，这是所希望的。

在烘烤用于FPD的真空容器的情况下(即，在将容器排气时对其进行加热的情况下)，由于因容器薄而导致排气的传导性小，因此存在容器的内部压力在烘烤期间增大的可能性。更具体而言，如果容器的内部压力在加热期间的高温状态中增大，那么在FED和SED中存在电子源劣化的可能性。因此，这是不希望的。

另一方面，在被采用作为吸气剂的NEG在烘烤温度下被活化的情况下，NEG一旦被活化后，就通过NEG吸附(排气)在烘烤处理中放出的气体。因此，由于真空容器中的压力在烘烤处理中降低，因此可以抑制由于烘烤导致的电子源的劣化，并且，还可以在执行密封之前降低真空容器中的压力。

但是，通过NEG对烘烤处理中的放出气体进行排气的操作意味着NEG在烘烤处理中劣化。因此，由于在作为NEG的基本目的的密封之后的排气性能降低，因此出现FED和SED中的每一个的寿命缩短或性能劣化。