[发明专利]保管库装置以及带保管库之搬运系统

说明书

技术领域

本发明的技术领域，系关于在轨道上搬运的搬运系统中，将例如收纳制造半导体元件用之各种基板的晶圆盒(Front Opening UnifiedPod，以下简写为FOUP)等的货品，在位于邻接轨道之位置暂时保管货品的存取库等的保管库、由多个此类保管库组合成的保管库组，特别是将此类保管库组沿着轨道铺设的保管库装置、以及具备此类保管库装置的带保管库之搬运系统。

背景技术

这种保管库，系铺设于例如邻接于运载工具等之搬运车所行走的轨道旁，在保管库中系设置有多个架体，据以保管多个经由搬运车搬运的货品。又且，为了在使货品于本类的保管库内与搬运车之间进行受送或输出入(意即，出入库)的「埠」、及于指定的架体之间进行搬运(意即，保管库内搬运)，因此设有称之为存取机器人(stackerrobot)或存取机(stacker crane)等的保管库内搬运装置。其中尤其藉由存取机器人等，可于包含无数量限制、为数众多的架体的保管库内进行搬运，使得数量从数十个到数百个的多个货品得以进行出入库或保管，且使得重达数吨到十几吨的大型保管库得以实用化。(参考专利文献1及2)。

【专利文献1】特开2006-049454号公报

【专利文献2】特开2003-182815号公报

然而，就上述日本专利文献1及2所记载之大型保管库而言，存取机器人等之保管库内搬运装置，其控制及构造皆具有基本的高度复杂性，且为高成本。又且，对于控制方面，亦因采用具有高处理能力的控制装置，需要具高度复杂性且高成本的控制方式。

对于此类大型保管库，本发明申请人提出了架体数量仅具有一般用于半导体制造的保管库的1成左右的小型保管库。这类小型保管库因架位部分较少，故可以相对低廉的价格提供，然关于控制一台这类的小型保管库，若使用上述的控制装置，需花费高成本。于此，希望以一台控制装置控制多台存取库，但若此控制装置发生故障或异状的话，将发生例如无法以全部的存取机器人进行出入库动作、使得至少有一部分的搬运系统呈停止状态的技术性问题。

发明内容

本发明系以例如上述的问题点为鉴，以采用相对简单的构造使得货品可以有效地进行出入库，并提供可提升信赖度、维持高工作效率的保管库、以多个此类保管库组合成的保管库组、特别是将此类保管库沿着轨道铺设的保管库装置、以及具备此类保管库装置的带保管库之搬运系统作为课题。

为了解决上述课题，本发明之保管库装置系由与在一轨道上搬运一货品的一搬运车之间、分别进行该货品出入库的多个保管库组合而成的保管库组沿着上述轨道铺设而成，且上述多个保管库包含：将该货品沿一水平方向来回移动、且沿垂直方向来回移动之一驱动单元；以及于沿着垂直方向的多个阶层之每阶层的水平方向上，设有一个或多个架位，以收纳藉由该驱动单元移动的货品之一架体；其中，该保管库装置具有多个控制部，该多个控制部构成为按至少由所述多个保管库中的一个或多个保管库组成的每个群组，分别控制出入库且互相替补控制。

根据本发明的保管库装置，于入库时，货品例如从搬运车移载往构成保管库组的各保管库之出入库用埠时，此货品即藉由例如具有垂直驱动部以及水平驱动部的驱动单元移动往所期望的架位。意即，保管库内搬运。于出库时，货品藉由驱动单元，从所期望的架位进行保管库内搬运。其后，当货品移动往保管库组的埠后，即进行往搬运车的移载。

于本发明中，架体，系于沿着垂直方向的多个阶层之每阶层的水平方向上，设有一个或多个架位；驱动单元则对应此架体，可将该货品沿水平方向来回移动、且沿垂直方向来回移动。从而，藉由垂直方向以及水平方向的之双轴运动，可将货品进行从出入库用埠(或其他架位)往多个之架位中所期望的架位之保管库内搬运作业。又或，藉由垂直方向以及水平方向之双轴运动，可将货品进行从多个之架位中所期望的架位往出入库用埠(或其他架位)之保管库内搬运作业。

关于各个保管库，例如，于垂直方向上有m阶层(其中，m系2以上的自然数)、于水平方向有n列(其中，n系1以上的自然数)，且于垂直于水平方向之剩余的另一水平方向(以下仅称「厚度方向」)上仅有一列的状况下，架体整体的骨架系构成为薄且呈纵向细长的平板形状。