[发明专利]一种用于MEMS动态特性测试的底座激励装置无效
| 申请号： | 200910010123.2 | 申请日： | 2009-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN101476970A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 佘东生;王晓东;张习文;李晓轲;王立鼎 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01M7/02 | 分类号： | G01M7/02;B81C5/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 116024辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 mems 动态 特性 测试 底座 激励 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于MEMS微器件动态特性测试的激振装置，包括底板(1)、压力传感器(2)、下联接块(3)、上联接块(4)、调节垫片(5)、十字弹簧片(6)、微器件(7)、螺钉(8)、压电陶瓷(9)、钢球(10)、套筒(11)和螺钉(12)；其特征在于：待测的微器件(7)粘接在顶部的十字弹簧片(6)上，十字弹簧片(6)通过螺钉(8)安装在套筒(11)顶部；压电陶瓷(9)、上联接块(4)、钢球(10)、下联接块(3)、压力传感器(2)安装在套筒(11)内部，压电陶瓷(9)底部粘接在上联接块(4)上，顶部和十字弹簧片(6)接触，调节垫片(5)的厚度，使十字弹簧片(6)产生变形压紧压电陶瓷(9)；上联接块(4)和下联接块(3)之间采用钢球(10)过渡；压力传感器(2)安装在底板(1)上，底板(1)和套筒(11)之间采用螺钉(12)连接。
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