[发明专利]一种镁还原蒸馏炉生产海绵钛真空蒸馏系统

权利要求书

1、一种镁还原蒸馏炉生产海绵钛真空蒸馏系统，包括水环泵和高、低真空泵、扩散泵、真空油增压泵及阀门，并通过管线连接，其特征是：炉腔出口一路经阀门(3)、(13)与水环泵相连；炉腔出口另一路经阀门(4)后再分两路，其中一路经阀门(9)、(12)、(10)分别与高、低真空泵相连，另一路经阀门(8)与真空油增压泵进口相连，真空油增压泵出口再经阀门(6)、(12)与高真空泵相连；炉腔出口再一路经阀门(2)与扩散泵进口相连，扩散泵出口经阀门(7)、(8)与真空油增压泵进口相连，真空油增压泵出口经阀门(6)、(12)与高真空泵相连。

2、根据权利要求1所述的一种镁还原蒸馏炉生产海绵钛真空蒸馏系统，其特征是：该真空蒸馏系统的工艺过程为：蒸馏开始时，用水环泵抽真空4小时，再启动低真空泵抽真空，停止水环泵；低真空泵抽真空8小时后，启动高真空泵抽真空，同时停止低真空泵；高真空泵抽真空18小时后，启动真空油增压泵同时抽真空；真空油增压泵抽30小时后，再启动扩散泵同时抽真空，直至出炉。

3、根据权利要求1或2所述的一种镁还原蒸馏炉生产海绵钛真空蒸馏系统，其特征是：所述的真空油增压泵在系统真空度达到20Pa以内才能启用。

4、根据权利要求1或2所述的一种镁还原蒸馏炉生产海绵钛真空蒸馏系统，其特征是：所述的扩散泵在系统真空度达到1Pa以内才能启用。