[发明专利]氮化硅陶瓷的制备方法

权利要求书

1、一种氮化硅陶瓷的制备方法，包括配料、成型和烧成，其特征在于其配料重量百分组成为：

α-Si₃N₄粉82-88％、AL₂O₃ 5-10％、ZrO₂3-6％和Y₂O₃ 1-3％。

2、根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷的制备方法，其特征在于α-Si₃N₄中的α相含量＞88％。

3、根据权利要求1或2所述的氮化硅陶瓷的制备方法，其特征在于配料粒径分别为：

α-Si₃N₄ 2-30μm、AL₂O₃ 1-3μm、ZrO₂ 0.5-1μm和Y₂O₃ 1-2μm。

4、根据权利要求3所述的氮化硅陶瓷的制备方法，其特征在于将配料以水为介质球磨混合均匀后，再加入总配料重量的0.8-1.2％的聚乙烯醇混合1.5-3小时获得浆料，烘干造粒，在110-180Mpa压力下等静压成型得坯体。

5、根据权利要求4所述的氮化硅陶瓷的制备方法，其特征在于造粒控制在60-120目筛之间。

6、根据权利要求5所述的氮化硅陶瓷的制备方法，其特征在于将坯体装入氮化炉中，以氮气氛保护，控制烧成温度为1550-1720℃，压力0.01-0.08MPa，保温时间为3-10小时。