[发明专利]大功率腔内三倍频紫外激光器

权利要求书

1、一种大功率腔内三倍频紫外激光器，包括基频波腔镜、Q开关、基频激光输出模块、二向色镜、二倍频非线性光学晶体、三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜；上述各部件分别固定在各自的基座上，其特征在于在基板上依次放置基频波腔镜、Q开关、基频激光输出模块、二向色镜、二倍频非线性光学晶体、三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜；由基频波腔镜、Q开关、基频激光输出模块和三次谐波输出镜构成基频光谐振腔；由二向色镜、二倍非线性光学晶体和三次谐波输出镜构成二倍频光谐振腔；由三向色镜、三倍频非线性光学晶体和三次谐波输出镜构成三倍频光谐振腔；基频光谐振腔、二倍频光谐振腔和三倍频光谐振腔共轴，用外壳将整个装置罩在基板上。

2、如权利要求1所述的一种大功率腔内三倍频紫外激光器，其特征在于所述的各部件的基座是由铝制成的，带有冷水管道，通过对相应的基座通水可对镜片进行冷却。

3、如权利要求1所述的一种大功率腔内三倍频紫外激光器，其特征在于所述的的二倍频非线性光学晶体是I或者II类相位匹配的GTP-KTP、KTP、LBO、KTA或BBO晶体中的一种。

4、如权利要求1所述的一种大功率腔内三倍频紫外激光器，其特征在于所述的三倍频非线性光学晶体是I或者II类相位匹配的LBO、CBO、BIBO或BBO晶体中的一种。

5、如权利要求1所述的一种大功率腔内三倍频紫外激光器，其特征在于所述的基频激光输出模块是Nd:YAG、Nd:YLF、Nd:YAP、Nd:LuVO₄、Nd:YVO₄或Nd:GdVO₄晶体中的一种。

6、如权利要求1所述的一种大功率腔内三倍频紫外激光器，其特征在于所述的基频波腔镜内侧镀有有1064nm基频波长高反膜；Q开关两端镀有有1064nm基频波长增透膜。

7、如权利要求1所述的一种大功率腔内三倍频紫外激光器，其特征在于所述的二倍频光谐振腔中的二向色镜的外侧一面镀有有1064nm的增透膜，内侧面镀有有1064nm增透膜和532nm高反膜；二倍频非线性光学晶体两端面均镀有有1064nm和532nm的增透膜。

8、如权利要求1所述的一种大功率腔内三倍频紫外激光器，其特征在于所述的三倍频光谐振腔中的三向色镜的外侧一面镀有有1064nm和532nm的增透膜，内侧面镀有有1064nm和532nm的增透膜及355nm的高反膜；三倍频非线性光学晶体两端面均镀有1064nm、532nm和355nm的增透膜；三次谐波输出镜内侧镀有1064nm和532nm的高反膜和355nm的增透膜，另一面镀有355nm的增透膜。