[发明专利]一种高精度钛种板的制造工艺

权利要求书

1.一种平直度不高于0.02mm/m²的高精度钛种板的制造工艺，其特征在于，高精度钛种板的制造工艺步骤为：将符合国家标准的合适尺寸钛板装入真空退火炉，在真空退火炉抽真空达到3.38×10⁴-5.05×10⁴Pa后，升温曲线依次分为升温过程、保温过程、降温过程，完成退火过程，其中：

所述升温过程具体为：依次为第一阶段、第二阶段、第三阶段，其中第一阶段为4小时升温至300℃，第二阶段为升温至300℃后保温8小时，第三阶段为用3小时从300℃升温至500℃，再用5小时从500℃升温至680℃；

所述保温过程为：为第四阶段，钛板在680℃保温10小时；

所述降温过程为第五阶段，第五阶段为用8小时从680℃降温至500℃，再用24小时从500℃降温至60℃。

2.根据权利要求1所述平直度不高于0.02mm/m²的高精度钛种板的制造工艺，其特征在于，升温曲线按下列过程依次完成升温过程、保温过程、降温过程，其中：

升温过程中的第六阶段、第七阶段、第八阶段、第九阶段、第十阶段替换权利要求1所述的第一阶段、第二阶段、第三阶段，采用第六阶段、第七阶段、第八阶段、第九阶段、第十阶段依次实现升温过程，其中第六阶段为1小时升温至60℃，再用1小时升温至150℃，第七阶段为升温至150℃后保温24小时，第八阶段为用1.5小时从150℃升温至300℃，第九阶段为在300℃保温24小时，第十阶段为用2小时从300℃升温至500℃，再用3小时升温至600℃；

保温过程中的第十一阶段替换权利要求1所述的第四阶段，采用第十一阶段实现保温过程，其中第十一阶段为升温至600℃后保温8小时；

降温过程中的第十二阶段替换权利要求1所述的第五阶段，采用第十二阶 段实现降温过程，其中第十二阶段为用6小时从600℃降温至500℃，再用24小时降温至60℃。

3.根据权利要求1所述平直度不高于0.02mm/m²的高精度钛种板的制造工艺，其特征在于，升温曲线按下列过程依次完成升温过程、保温过程、降温过程，其中：

升温过程中的第十三阶段、第十四阶段、第十五阶段、第十六阶段替换权利要求1所述的第一阶段、第二阶段、第三阶段，采用第十三阶段、第十四阶段、第十五阶段、第十六阶段依次实现升温过程，其中第十三阶段为3小时升温至300℃，第十四阶段为升温至300℃后保温2小时，第十五阶段为用2小时从300℃升温至500℃，第十六阶段为用3小时从500℃升温至600℃；

保温过程中的第十七阶段替换权利要求1所述的第四阶段，采用第十七阶段实现保温过程，其中第十七阶段为升温至600℃后保温8小时；

降温过程中的第十八阶段替换权利要求1所述的第五阶段，采用第十八阶段实现降温过程，其中第十八阶段为用6小时从600℃降温至500℃，再用24小时从500℃降温至100℃。

4.根据权利要求1所述平直度不高于0.02mm/m²的高精度钛种板的制造工艺，其特征在于，升温曲线按下列过程依次完成升温过程、保温过程、降温过程，其中：

升温过程中的第十九阶段、第二十阶段、第二十一阶段、第二十二阶段、第二十三阶段替换权利要求1所述的第一阶段、第二阶段、第三阶段，采用第十九阶段、第二十阶段、第二十一阶段、第二十二阶段、第二十三阶段依次实现升温过程，其中第十九阶段为3小时升温至300℃，第二十阶段为升温至300℃后保温1小时，第二十一阶段为用5小时从300℃升温至600℃，第二十二阶 段为在600℃保温1小时，第二十三阶段为用6小时从600℃升温至720℃；

保温过程中的第二十四阶段替换权利要求1所述的第四阶段，采用第二十四阶段实现保温过程，其中第二十四阶段为升温至720℃后保温8小时；

降温过程中的第二十五阶段替换权利要求1所述的第五阶段，采用第二十五阶段实现降温过程，其中第二十五阶段为用8小时从720℃降温至500℃后用24小时从500℃降温至60℃。

5.根据权利要求1所述的平直度不高于0.02mm/m²的高精度钛种板的制造工艺，其特征在于，符合国家标准的合适尺寸钛板是在钛板正反两面刷涂氮化硼后再装入真空退火炉。