[发明专利]铟锡氧化物导电膜图形蚀刻的蚀刻液无效
| 申请号： | 200910022387.X | 申请日： | 2009-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN101550340A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 赵炜;程花蕾;吴静;李翌辉 | 申请（专利权）人： | 西安宝莱特光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/00 | 分类号： | C09K13/00 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 李 罡 |
| 地址： | 710021陕西省西安市未*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氧化物 导电 图形 蚀刻 | ||
【权利要求书】：
1、铟锡氧化物导电膜图形蚀刻的蚀刻液，其特征在于：所述的蚀刻液的配方为：草酸和三氯化铁水溶液，其中草酸浓度范围为0.01～5.0mol/L，三氯化铁浓度范围为0.01～5.0mol/L。
2、根据权利要求1所述的铟锡氧化物导电膜图形蚀刻的蚀刻液，其特征在于：所述的蚀刻液的配方为：草酸和三氯化铁水溶液，其中草酸浓度为1mol/L，三氯化铁浓度为3mol/L。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安宝莱特光电科技有限公司，未经西安宝莱特光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910022387.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种铁锈除垢剂
- 下一篇：一种多孔泡沫不锈钢材料的制备方法
