[发明专利]一种用于印刷型场发射显示器的下基板及其制作方法

权利要求书

1.一种用于印刷型场发射显示器的下基板，包括玻璃基板(1)、印制在玻璃基板(1)上的栅极(2)、栅极(2)上的绝缘介质层(3)和下基板最上部的阴极(5)，其特征在于：所述下基板包括设置在绝缘介质层(3)和阴极(5)之间的SiO₂绝缘层(4)。

2.一种用于印刷型场发射显示器的下基板制作方法，其特征在于，按照以下步骤：

(1)、制作栅极：用去污粉和去离子水分别超声清洗玻璃基板(1)并用气枪吹干，然后用精密丝网印刷机在玻璃基板(1)上印刷栅极(2)，玻璃基板(1)上的印刷栅极(2)在100℃干燥20min后烧结，烧结制度为370℃保温20min，570℃保温20min，升温速率5℃/min，得到栅极(2)；

(2)、制作绝缘介质层：在栅极(2)上印刷绝缘介质层(3)，印刷好的绝缘介质层(3)在100℃干燥20min后烧结，烧结制度为370℃保温20min，580℃保温20min，升温速率5℃/min，得到绝缘介质层(3)；

(3)、制作SiO₂绝缘层：利用磁控溅射法，用镍合金片制作掩膜，在绝缘介质层(3)上溅射SiO₂膜，获得带SiO₂绝缘层(4)，SiO₂绝缘层(4)厚度为200nm；所述磁控溅射法采用SiO₂陶瓷靶作靶材，衬底温度为400℃，工作气体为Ar，背底真空度为4×10^-3Pa，工作气压为0.8Pa，溅射功率为350W，溅射时间为10min；

(4)、制作阴极：在SiO₂绝缘层(4)上印刷阴极(5)银浆料，印刷好的阴极(5)银浆料在100℃干燥20min后烧结，烧结制度为370℃保温20min，570℃保温20min，升温速率5℃/min，得到阴极(5)；

(5)、制作阴极发射体：碳纳米管、有机载体和金属填料混合均匀配制成浆料，浆料中碳纳米管的质量分数为8％-20％，金属填料的质量分数为4％-10％，余量为有机载体；将浆料印刷在阴极(5)上并在120℃干燥20min后烧结，烧结制度为340℃保温20min，450℃保温20min，升温速率5℃/min，得到阴极发射体(6)，完成下基板的制作。

3.根据权利要求2所述的一种用于印刷型场发射显示器的下基板制作方法，其特征在于：所述有机载体由松油醇和乙基纤维素按照质量比9∶1的比例构成。

4.根据权利要求2所述的一种用于印刷型场发射显示器的下基板制作方法，其特征在于：所述金属填料为银纳米颗粒。